ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಆಳವಾದ ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಪರಿಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ತೀವ್ರ ನೇರಳಾತೀತ (EUV) ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ವೇಗವಾಗಿ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಡಿಕೆ ಪರಮಾಣು ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತಿದೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಫೋಟೊನಿಕ್ಸ್ ಕಂಪನಿಗಳಿಗೆ, ನಿಖರವಾದ ಗಾಜಿನ ಘಟಕಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವು ಕೇವಲ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿವರಣೆಯಲ್ಲ - ಇದು ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.
ZHHIMG ಗ್ರೂಪ್ನಲ್ಲಿ, ಈ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಕೇವಲ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದನ್ನು ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಎಂದು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ; ಇದಕ್ಕೆ ಬೆಳಕು ಮತ್ತು ವಸ್ತುವಿನ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರವನ್ನು ಕರಗತ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗಾಜಿನ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರತೆಯ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ನೆಲೆಗಳನ್ನು ತಲುಪಿಸಲು ನಾವು ಜಯಿಸುವ ಕಠಿಣ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಪರಿಶೋಧಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು: ನಿಖರತೆ ಮುಖ್ಯವಾದ ಸ್ಥಳ
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಆಧುನಿಕ ಫೋಟೊನಿಕ್ಸ್ನ ಬೆನ್ನೆಲುಬಾಗಿದೆ. ಸಂವಹನದಿಂದ ರಕ್ಷಣೆಯವರೆಗೆ, ಈ ಘಟಕಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣವಾಗುತ್ತಿವೆ.
1. ಲೇಸರ್ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯರ್ ಫ್ಯೂಷನ್ & ಸ್ಟ್ರಾಂಗ್ ಲೇಸರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಲೇಸರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಅಪಾರ ಶಕ್ತಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು. ಗಾಜಿನಲ್ಲಿರುವ ಯಾವುದೇ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ದೋಷ ಅಥವಾ ಅಶುದ್ಧತೆಯು ಲೇಸರ್-ಪ್ರೇರಿತ ಹಾನಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇಡೀ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಇಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಗಮನವು ಭೂಗತ ಹಾನಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಮತ್ತು ಕಿರಣದ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು.
2. ಸ್ಪೇಸ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಡೀಪ್ ಸ್ಪೇಸ್ ಡಿಟೆಕ್ಷನ್
ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ದೂರದರ್ಶಕಗಳು ಮತ್ತು ದೂರ ಸಂವೇದಿ ಉಪಕರಣಗಳು ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿ (ಈಗ 4 ಮೀಟರ್ ಮೀರಿದೆ) ಬೆಳೆದಂತೆ, ಹಗುರಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆ ತೀವ್ರಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶಕ್ಕಾಗಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ತೀವ್ರ ಉಷ್ಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ತಮ್ಮ ಆಕಾರವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು, ಇದಕ್ಕೆ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವಸ್ತುಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ.
3. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ & EUV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, EUV ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು 0.1 nm (RMS) ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಪ್ರತಿಫಲಿತ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ. ಪರಮಾಣು-ಮಟ್ಟದ ಉಬ್ಬುಗಳು ಸಹ ಬೆಳಕನ್ನು ಚದುರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಚಿಪ್ನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಅನ್ನು ಹಾಳುಮಾಡಬಹುದು. ಇದು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗಾಜಿನ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪರಾಕಾಷ್ಠೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪಾದನಾ ಸವಾಲು: ಒತ್ತಡ, ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಮೃದುತ್ವ
ಈ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಮೂರು ಪ್ರಮುಖ ಅಡೆತಡೆಗಳನ್ನು ನಿವಾರಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.
1. ಆಂತರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು
ಶೇಷ ಒತ್ತಡವು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಶತ್ರು. ಇದು ವಕ್ರೀಭವನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು (ವಕ್ರೀಭವನ ಸೂಚ್ಯಂಕವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವುದು) ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಹೊರೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಬಿರುಕು ಬಿಡಬಹುದು.
- ಸವಾಲು: ಗಟ್ಟಿಯಾದ, ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ ಗಾಜನ್ನು ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಒತ್ತಡಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ.
- ನಮ್ಮ ವಿಧಾನ: ನಾವು ಸುಧಾರಿತ ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ-ಹಾನಿ ರೂಪಿಸುವ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತೇವೆ. ತಂಪಾಗಿಸುವ ದರಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ-ನಿವಾರಣಾ ಯಂತ್ರ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, ಗಾಜಿನ ಆಂತರಿಕ ರಚನೆಯು ತಟಸ್ಥ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವುದನ್ನು ನಾವು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ.
2. ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು (ಕಡಿಮೆ ಆವರ್ತನ ನಿಖರತೆ)
ಅಲ್ಟ್ರಾ ಪ್ರಿಸಿಶನ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್ ಬೇಸ್ಗಳು ಮತ್ತು ಮಿರರ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ಗಳಿಗೆ, ಮೇಲ್ಮೈಯ "ಆಕಾರ" ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
- ಸವಾಲು: ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ರುಬ್ಬುವಿಕೆಯು ಅಲೆಗಳನ್ನು ಬಿಡಬಹುದು ಅಥವಾ ತರಂಗಮುಖ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕುಗ್ಗಿಸುವ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.
- ನಮ್ಮ ವಿಧಾನ: ನಾವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಂಪ್ಯೂಟರ್-ನಿಯಂತ್ರಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸರ್ಫೇಸಿಂಗ್ (CCOS) ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತೇವೆ. ಇದು ಕಡಿಮೆ ಆವರ್ತನ ದೋಷಗಳನ್ನು (ಆಕಾರ ವಿಚಲನಗಳು) ಸರಿಪಡಿಸಲು ಮತ್ತು 1 nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುವ ಪೀಕ್-ಟು-ವ್ಯಾಲಿ (PV) ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ನಮಗೆ ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮಾರ್ಗವು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿರುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ (ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಮೃದುತ್ವ)
ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿನ್ಯಾಸದಿಂದ ಚದುರುವಿಕೆ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.
- ಸವಾಲು: ರುಬ್ಬುವಿಕೆಯಿಂದ ಉಳಿದಿರುವ "ಮಬ್ಬು" ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಗೀರುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯಿಂದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮೃದುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಪರಿವರ್ತನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
- ನಮ್ಮ ವಿಧಾನ: ನಾವು ಕಾಂತೀಯ ನೆರವಿನ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಸುಧಾರಿತ ಹೊಳಪು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತೇವೆ. ಈ ತಂತ್ರವು ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರಗಳ ಬ್ಯಾಚ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ (ಫ್ರೀಫಾರ್ಮ್ ಲೆನ್ಸ್ಗಳಂತೆ) ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೊಸ ಭೂಗತ ಹಾನಿಯನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸದೆ ಸಬ್-ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು (Ra < 0.6 nm) ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.
ZHHIMG: ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರತೆಯಲ್ಲಿ ನಿಮ್ಮ ಪಾಲುದಾರ
ಕಚ್ಚಾ ಗಾಜಿನಿಂದ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಕ್ಕೆ ಪರಿವರ್ತನೆಯು ನ್ಯಾನೊತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮೂಲಕ ಒಂದು ಪ್ರಯಾಣವಾಗಿದೆ. ZHHIMG ಗ್ರೂಪ್ನಲ್ಲಿ, ನಾವು ವಸ್ತು ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ನಿಖರ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ.
ನಮ್ಮ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು ಸೇರಿವೆ:
- ಸಂಕೀರ್ಣ ಜ್ಯಾಮಿತಿಗಳು: ಫ್ರೀಫಾರ್ಮ್, ಆಸ್ಫೆರಿಕ್ ಮತ್ತು ಪ್ಲೇನರ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಯಂತ್ರೀಕರಣ.
- ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆ: ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಲು ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರೊಫೈಲೋಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು.
- ವಸ್ತು ಪರಿಣತಿ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ವಿಸ್ತರಣೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾದ ಫ್ಯೂಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾ, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗ್ಲಾಸ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಆಳವಾದ ಅನುಭವ.
ತೀರ್ಮಾನ
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸಾಧ್ಯವಿರುವ ಎಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ತಳ್ಳುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ನಿಖರವಾದ ಗಾಜಿನ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯು
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸಾಧ್ಯವಿರುವ ಎಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ತಳ್ಳುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ನಿಖರವಾದ ಗಾಜಿನ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯು
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಏಪ್ರಿಲ್-09-2026