♦ಅಲುಮಿನಾ(ಅಲ್2O3)
ZhongHui ಇಂಟೆಲಿಜೆಂಟ್ ಮ್ಯಾನುಫ್ಯಾಕ್ಚರಿಂಗ್ ಗ್ರೂಪ್ (ZHHIMG) ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ನಿಖರವಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು, 92~97% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ, 99.5% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ, >99.9% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಮತ್ತು CIP ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಒತ್ತುವಿಕೆಯಿಂದ ಮಾಡಬಹುದಾಗಿದೆ.ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ, ± 0.001mm ನ ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆ, Ra0.1 ವರೆಗೆ ಮೃದುತ್ವ, 1600 ಡಿಗ್ರಿಗಳವರೆಗೆ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಬಳಸಿ.ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಬಣ್ಣಗಳ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ಅವುಗಳೆಂದರೆ: ಕಪ್ಪು, ಬಿಳಿ, ಬಗೆಯ ಉಣ್ಣೆಬಟ್ಟೆ, ಕಡು ಕೆಂಪು, ಇತ್ಯಾದಿ. ನಮ್ಮ ಕಂಪನಿಯು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ನಿಖರವಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ತುಕ್ಕು, ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನಕ್ಕೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಆಗಿರಬಹುದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿವಿಧ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ಚೌಕಟ್ಟುಗಳು (ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬ್ರಾಕೆಟ್), ತಲಾಧಾರ (ಬೇಸ್), ಆರ್ಮ್/ಬ್ರಿಡ್ಜ್ (ಮ್ಯಾನಿಪ್ಯುಲೇಟರ್), , ಯಾಂತ್ರಿಕ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್.
ಉತ್ಪನ್ನದ ಹೆಸರು | ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ 99 ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಕ್ವೇರ್ ಟ್ಯೂಬ್ / ಪೈಪ್ / ರಾಡ್ | |||||
ಸೂಚ್ಯಂಕ | ಘಟಕ | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
ಸಾಂದ್ರತೆ | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
ಸಿಂಟರ್ಡ್ ತಾಪಮಾನ | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
ಗಡಸುತನ | ಮೊಹ್ಸ್ | 7 | 9 | 9 | 9 | |
ಬಾಗುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ (20℃)) | ಎಂಪಿಎ | 200 | 300 | 340 | 360 | |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | ಕೆಜಿಎಫ್/ಸೆಂ2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
ದೀರ್ಘಕಾಲ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ತಾಪಮಾನ | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
ಗರಿಷ್ಠಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
ವಾಲ್ಯೂಮ್ ರೆಸಿಸ್ಟಿವಿಟಿ | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್:
1. ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗಿದೆ: ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್, ಕತ್ತರಿಸುವ ಡಿಸ್ಕ್, ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್.
2. ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ಭಾಗಗಳು: ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಚಕ್ಸ್, ವೇಫರ್ ಕಟಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ಗಳು, ವೇಫರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ಗಳು, ವೇಫರ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಇನ್ಸ್ಪೆಕ್ಷನ್ ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್ಗಳು.
3. ಎಲ್ಇಡಿ / ಎಲ್ಸಿಡಿ ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಉದ್ಯಮ: ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಳಿಕೆ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್, ಲಿಫ್ಟ್ ಪಿನ್, ಪಿನ್ ರೈಲು.
4. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂವಹನ, ಸೌರ ಉದ್ಯಮ: ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ ರಾಡ್ಗಳು, ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಪ್ರಿಂಟಿಂಗ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಕ್ರೇಪರ್ಗಳು.
5. ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧಕ ಭಾಗಗಳು: ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇರಿಂಗ್ಗಳು.
ಪ್ರಸ್ತುತ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಸರಣಿಯು 99.9% Al₂O₃ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಹೊಂದಿರುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.1650 - 1990 ° C ವರೆಗಿನ ಅದರ ಸಿಂಟರ್ಟಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಅದರ ಪ್ರಸರಣ ತರಂಗಾಂತರ 1 ~ 6μm ಕಾರಣ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲ್ಯಾಟಿನಮ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಬದಲಿಗೆ ಫ್ಯೂಸ್ಡ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಆಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ಅದರ ಬೆಳಕಿನ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯಿಂದಾಗಿ ಇದನ್ನು ಸೋಡಿಯಂ ಟ್ಯೂಬ್ ಆಗಿ ಬಳಸಬಹುದು. ಕ್ಷಾರ ಲೋಹ.ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಇದನ್ನು ಐಸಿ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ನ ವಿವಿಧ ವಿಷಯಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸರಣಿಯನ್ನು 99 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, 95 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, 90 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು 85 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ನ 80% ಅಥವಾ 75% ರಷ್ಟು ಪಿಂಗಾಣಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸರಣಿ ಎಂದು ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ.ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, 99 ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್, ಅಗ್ನಿಶಾಮಕ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇರಿಂಗ್ಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸೀಲುಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟದ ಫಲಕಗಳಂತಹ ವಿಶೇಷ ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.95 ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಭಾಗವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.85 ಪಿಂಗಾಣಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಬೆರೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.ಇದು ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್, ನಿಯೋಬಿಯಂ, ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಲೋಹದ ಮುದ್ರೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು, ಮತ್ತು ಕೆಲವು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರ್ವಾತ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟದ ಐಟಂ (ಪ್ರತಿನಿಧಿ ಮೌಲ್ಯ) | ಉತ್ಪನ್ನದ ಹೆಸರು | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಂಯೋಜನೆ ಕಡಿಮೆ-ಸೋಡಿಯಂ ಸುಲಭ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಉತ್ಪನ್ನ | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
ಫೆ₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
ಅಲ್₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
ಮಧ್ಯಮ ಕಣದ ವ್ಯಾಸ (MT-3300, ಲೇಸರ್ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ವಿಧಾನ) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಗಾತ್ರ | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
ರಚನೆಯ ಸಾಂದ್ರತೆ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಲೈನ್ನ ಕುಗ್ಗುತ್ತಿರುವ ದರ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* Al₂O₃ ನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರದಲ್ಲಿ MgO ಅನ್ನು ಸೇರಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ.
* ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಪೌಡರ್ ಇಲ್ಲ 29.4MPa (300kg/cm²), ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ತಾಪಮಾನ 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO ಸೇರಿಸಿ, ಸಿಂಟರ್ಬಿಲಿಟಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು 99% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ಗೆ ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತದೆ.
AES-22S: ಹೆಚ್ಚಿನ ರಚನೆಯ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಲೈನ್ನ ಕಡಿಮೆ ಕುಗ್ಗುವಿಕೆ ದರದಿಂದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಸ್ಲಿಪ್ ಫಾರ್ಮ್ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಇತರ ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತದೆ.
AES-23 / AES-31-03: ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಚನೆಯ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಥಿಕ್ಸೊಟ್ರೋಪಿ ಮತ್ತು AES-22S ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಮೊದಲನೆಯದನ್ನು ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎರಡನೆಯದನ್ನು ಅಗ್ನಿಶಾಮಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ನೀರು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಸಾಧನವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಜನಪ್ರಿಯತೆಯನ್ನು ಗಳಿಸುತ್ತಿದೆ.
♦ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
ಸಾಮಾನ್ಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳ ಶುದ್ಧತೆ (wt%) | 97 | |
ಬಣ್ಣ | ಕಪ್ಪು | ||
ಸಾಂದ್ರತೆ (g/cm³) | 3.1 | ||
ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ (%) | 0 | ||
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (MPa) | 400 | |
ಯಂಗ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ (GPa) | 400 | ||
ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ (GPa) | 20 | ||
ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | ಗರಿಷ್ಠ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 | |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (W/m x K) | 130 110 | ||
ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ ΔT (°C) | 300 | ||
ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | ಪರಿಮಾಣ ನಿರೋಧಕತೆ | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
ಅವಾಹಕ ಸ್ಥಿರ | 10GHz | - | |
ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ನಷ್ಟ (x 10-4) | - | ||
Q ಫ್ಯಾಕ್ಟರ್ (x 104) | - | ||
ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್ (KV/mm) | - |
♦ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್
ವಸ್ತು | ಘಟಕ | Si₃N₄ |
ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ವಿಧಾನ | - | ಗ್ಯಾಸ್ ಪ್ರೆಶರ್ ಸಿಂಟರ್ಡ್ |
ಸಾಂದ್ರತೆ | g/cm³ | 3.22 |
ಬಣ್ಣ | - | ಕಡು ಬೂದು |
ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ದರ | % | 0 |
ಯುವ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | ಜಿಪಿಎ | 290 |
ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | ಜಿಪಿಎ | 18 - 20 |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | ಎಂಪಿಎ | 2200 |
ಬಾಗುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | ಎಂಪಿಎ | 650 |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | W/mK | 25 |
ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ | Δ (°C) | 450 - 650 |
ಗರಿಷ್ಠ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನ | °C | 1200 |
ವಾಲ್ಯೂಮ್ ರೆಸಿಸ್ಟಿವಿಟಿ | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
ಅವಾಹಕ ಸ್ಥಿರ | - | 8.2 |
ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | kV/mm | 16 |