ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಶಾಖದಿಂದಾಗಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆಯೇ?

ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಮುಖ ಕೊಂಡಿ - ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ, ಉಪಕರಣದ ನಿಖರತೆಯು ಚಿಪ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ಉಪಕರಣದ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಸಮಸ್ಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಮನವನ್ನು ಸೆಳೆದಿದೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 4 ಮತ್ತು 8×10⁻⁶/℃ ನಡುವೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಇದು ಲೋಹಗಳು ಮತ್ತು ಅಮೃತಶಿಲೆಗಿಂತ ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆ. ಇದರರ್ಥ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾದಾಗ, ಅದರ ಗಾತ್ರವು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಎಂದರೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಇಲ್ಲ ಎಂದು ಅರ್ಥವಲ್ಲ ಎಂಬುದನ್ನು ಗಮನಿಸಬೇಕು. ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣದೊಂದು ವಿಸ್ತರಣೆ ಕೂಡ ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್‌ನ ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಸಂಭವಿಸಲು ಹಲವಾರು ಕಾರಣಗಳಿವೆ. ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳು, ಉಪಕರಣಗಳ ಘಟಕಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖ ಮತ್ತು ಲೇಸರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ತತ್ಕ್ಷಣದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಇವೆಲ್ಲವೂ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ "ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸಂಕುಚಿತಗೊಳ್ಳಲು" ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಬೇಸ್ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಗೆ ಒಳಗಾದ ನಂತರ, ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ರೈಲಿನ ನೇರತೆ ಮತ್ತು ವೇದಿಕೆಯ ಚಪ್ಪಟೆತನವು ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವೇಫರ್ ಟೇಬಲ್‌ನ ತಪ್ಪಾದ ಚಲನೆಯ ಪಥವು ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಪೋಷಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಸಹ ಬದಲಾಗುತ್ತವೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಕಿರಣವು "ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ". ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವುದರಿಂದ ದೋಷಗಳು ಸಂಗ್ರಹವಾಗುತ್ತವೆ, ನಿಖರತೆ ಕೆಟ್ಟದಾಗುತ್ತಾ ಹೋಗುತ್ತದೆ.

ಆದರೆ ಚಿಂತಿಸಬೇಡಿ. ಜನರಿಗೆ ಈಗಾಗಲೇ ಪರಿಹಾರಗಳಿವೆ. ವಸ್ತುಗಳ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸಿರೆಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಯಸ್ಸಾದ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗೆ ಒಳಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 23±0.5℃ ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬೇಸ್‌ಗಾಗಿ ಸಕ್ರಿಯ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ ಸಾಧನವನ್ನು ಸಹ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ರಚನಾತ್ಮಕ ವಿನ್ಯಾಸದ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಸಮ್ಮಿತೀಯ ರಚನೆಗಳು ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಬೆಂಬಲಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳ ಮೂಲಕ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ದೋಷಗಳನ್ನು ಅಲ್ಗಾರಿದಮ್‌ಗಳಿಂದ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಿಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ASML ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉಪಕರಣಗಳು, ಈ ವಿಧಾನಗಳ ಮೂಲಕ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ಸಣ್ಣ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸುತ್ತವೆ, ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ನಿಖರತೆಯು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅದನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವವರೆಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ.