ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಯಾವುದು?

ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯೊಂದಿಗೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳ ಬಳಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಜನಪ್ರಿಯವಾಗಿದೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗೆ ಜನಪ್ರಿಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಅದರ ಅನೇಕ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅತ್ಯಂತ ಕಠಿಣ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗೆ ಪರಿಪೂರ್ಣವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಹಲವಾರು ತಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದು, ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವುದು ಅಗತ್ಯ ಹಂತಗಳು.ಬಳಸಿದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಕಾರವು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸುವಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಒಂದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಮೃದುತ್ವಕ್ಕೆ ಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಇದು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕಣಗಳು ಅಥವಾ ಗೀರುಗಳಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಾಧ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್, ಕೆಮಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಕೆಮಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಮುಂತಾದ ವಿವಿಧ ವಿಧಾನಗಳ ಮೂಲಕ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸುವ ಮತ್ತೊಂದು ಮೂಲಭೂತ ಅಂಶವೆಂದರೆ ಎಚ್ಚಣೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲು ಎಚ್ಚಣೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ, ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಎಚ್ಚಣೆಯನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಲು ಹಲವಾರು ಮಾರ್ಗಗಳಿವೆ.ಬಳಸಿದ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪ್ರಕಾರವು ವಸ್ತು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವುದು ಸಹ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಮಧ್ಯಪ್ರವೇಶಿಸಬಹುದಾದ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಕಲ್ಮಶಗಳಂತಹ ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ.ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮುಂತಾದ ವಿವಿಧ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮಾಡಬಹುದು.

ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳ ಬಳಕೆಯು ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಳಪು, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.ಪ್ರತಿ ಹಂತಕ್ಕೂ ವಿವಿಧ ವಿಧಾನಗಳು ಲಭ್ಯವಿವೆ ಮತ್ತು ಬಳಸಿದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಕಾರವು ವಸ್ತು ಮತ್ತು ಬಯಸಿದ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.ಸರಿಯಾದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಮಾಡಬಹುದು.