ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಯಾವುವು? ಗ್ರಾನೈಟ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಈ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳು ಯಾವುವು?

ಗ್ರಾನೈಟ್ ತನ್ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಗೆ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಆಯ್ಕೆಗಳಾಗಿ ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ. ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ನಾವು ಅನ್ವೇಷಿಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುತ್ತೇವೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು

1. ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು

ಜೆರೋಡರ್ ಮತ್ತು ಸೆರ್ವಿಟ್‌ನಂತಹ ಗಾಜಿನ-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು, ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ಹತ್ತಿರವಿರುವ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಪಡೆದುಕೊಂಡಿವೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಈ ವಸ್ತುಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವರ್ಧಿತ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಜೆರೋಡರ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಇದು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಉಪಕರಣಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಅನುಕೂಲಗಳು:

- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ಗ್ರಾನೈಟ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚ
- ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ ಗುಣ ಹೊಂದಿದ್ದು, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯಲ್ಲಿ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಒಡ್ಡಬಹುದು.

2. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್

ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ (Al2O3), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC), ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (Si3N4) ನಂತಹ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ವೇಫರ್ ಹಂತಗಳು ಮತ್ತು ಚಕ್‌ಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಅನುಕೂಲಗಳು:

- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿ
- ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಮತ್ತು ಬಿರುಕು ಬಿಡುವ ಸಾಧ್ಯತೆ ಇರುತ್ತದೆ.
- ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದು ಸವಾಲಿನ ಮತ್ತು ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಕೆಲಸವಾಗಿದೆ.

3. ಲೋಹಗಳು

ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂನಂತಹ ಲೋಹ-ಆಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕೆಲವು ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯಿಂದಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ. ಚೇಂಬರ್ ಭಾಗಗಳು, ಕಪ್ಲಿಂಗ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಫೀಡ್‌ಥ್ರೂಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅನುಕೂಲಗಳು:

- ಉತ್ತಮ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಡಕ್ಟಿಲಿಟಿ
- ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ
- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ.
- ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುವ ಸಾಧ್ಯತೆ

ತೀರ್ಮಾನ:

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಜನಪ್ರಿಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದ್ದರೂ, ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಆಗಬಹುದು. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಪ್ರಬಲವಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಆಗಬಹುದು, ಅವುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚು ಸವಾಲಿನದ್ದಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಲೋಹಗಳು ಅಗ್ಗವಾಗಿವೆ, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮಾಡಬಹುದಾದವು ಮತ್ತು ಮೆತುವಾದವು, ಆದರೆ ಅವು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ, ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ.