ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಯಾವುವು? ಗ್ರಾನೈಟ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಈ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳು ಯಾವುವು?

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕಕ್ಕಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಗಾಗಿ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಆಯ್ಕೆಗಳಾಗಿ ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ. ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ನಾವು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗಾಗಿ ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಅನ್ವೇಷಿಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುತ್ತೇವೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು

1. ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್

ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಾದ ero ೆರೋಡೂರ್ ಮತ್ತು ಸೆರ್ವಿಟ್, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಗಳಿಸಿದೆ, ಇದು ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಈ ವಸ್ತುಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವರ್ಧಿತ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. Ero ೆರೋಡೂರ್, ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಉಪಕರಣಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆ
- ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ಗ್ರಾನೈಟ್‌ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚ
- ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸುಲಭವಾಗಿ, ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯಲ್ಲಿ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಒಡ್ಡಬಹುದು

2. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್

ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಾದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ (ಎಎಲ್ 2 ಒ 3), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಸಿಕ್), ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (ಎಸ್‌ಐ 3 ಎನ್ 4) ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವೇಫರ್ ಹಂತಗಳು ಮತ್ತು ಚಕ್ಸ್.

ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿ
- ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ಸುಲಭವಾಗಿ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಮತ್ತು ಕ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್‌ಗೆ ಗುರಿಯಾಗಬಹುದು
- ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಸವಾಲಿನ ಮತ್ತು ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ

3. ಲೋಹಗಳು

ಲೋಹದ ಆಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು, ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅನ್ನು ಕೆಲವು ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯಿಂದ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಚೇಂಬರ್ ಭಾಗಗಳು, ಕೂಪ್ಲಿಂಗ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಫೀಡ್‌ಥ್ರೂಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

- ಉತ್ತಮ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವಿಕೆ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಡಕ್ಟಿಲಿಟಿ
- ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ

ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:

- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ
- ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ

ತೀರ್ಮಾನ:

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಜನಪ್ರಿಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದ್ದರೂ, ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಗಾಜಿನ-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿವೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅವುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚು ಸವಾಲಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಲೋಹಗಳು ಅಗ್ಗದ, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಮತ್ತು ಡಕ್ಟೈಲ್, ಆದರೆ ಅವು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಗುರಿಯಾಗುತ್ತವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ, ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ.

ನಿಖರ ಗ್ರಾನೈಟ್ 04


ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮಾರ್ಚ್ -19-2024