ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕಕ್ಕಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಗೆ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಆಯ್ಕೆಗಳಾಗಿ ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ.ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ನಾವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಅನ್ವೇಷಿಸುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು
1. ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು
ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಝೆರೋಡುರ್ ಮತ್ತು ಸೆರ್ವಿಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ಗೆ ಸಮೀಪವಿರುವ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಗಳಿಸಿವೆ.ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಈ ವಸ್ತುಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವರ್ಧಿತ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.ಝೆರೋಡುರ್, ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಉಪಕರಣಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:
- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ
ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:
- ಗ್ರಾನೈಟ್ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚ
- ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸುಲಭವಾಗಿ, ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯಲ್ಲಿ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು
2. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್
ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ (Al2O3), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC), ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (Si3N4) ನಂತಹ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ವೇಫರ್ ಹಂತಗಳು ಮತ್ತು ಚಕ್ಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿ
- ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯತೆ
ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:
- ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಮತ್ತು ಬಿರುಕುಗಳಿಗೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು
- ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಸವಾಲಿನ ಮತ್ತು ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
3. ಲೋಹಗಳು
ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂನಂತಹ ಲೋಹ-ಆಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಂತ್ರಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಕೆಲವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ.ಚೇಂಬರ್ ಭಾಗಗಳು, ಕಪ್ಲಿಂಗ್ಗಳು ಮತ್ತು ಫೀಡ್ಥ್ರೂಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:
- ಉತ್ತಮ ಯಂತ್ರಸಾಧ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕುವಿಕೆ
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಡಕ್ಟಿಲಿಟಿ
- ಕೆಲವು ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ
ಅನಾನುಕೂಲಗಳು:
- ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ
- ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ
- ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ
ತೀರ್ಮಾನ:
ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಜನಪ್ರಿಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ, ಪರ್ಯಾಯ ವಸ್ತುಗಳು ಹೊರಹೊಮ್ಮಿವೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಗ್ಲಾಸ್-ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಿರಬಹುದು.ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಆದರೆ ಸುಲಭವಾಗಿಯೂ ಕೂಡ ಆಗಿರಬಹುದು, ಅವುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚು ಸವಾಲಾಗಬಹುದು.ಲೋಹಗಳು ಅಗ್ಗವಾಗಿವೆ, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಡಕ್ಟೈಲ್ ಆಗಿರುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಅವು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ.ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುವುದು ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ, ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮಾರ್ಚ್-19-2024