ನಿಖರವಾದ ಹೈಡ್ರೋಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟಿಂಗ್ ಮೂವ್ಮೆಂಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ "ಅದೃಶ್ಯ ಗುರಾಣಿ": ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್‌ನ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಪರಿಸರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು.

ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಆಧಾರವು ವೇದಿಕೆಯ ಪ್ರಮುಖ ಪೋಷಕ ಭಾಗವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ನಿಕಟ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಪರಿಸರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಮತ್ತು ಪೂರೈಸುವುದು ವೇದಿಕೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದಲ್ಲದೆ, ಸಂಬಂಧಿತ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅದರ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಉದ್ಯಮದ ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಕೆಳಗೆ ವಿವರವಾಗಿ ವಿವರಿಸಲಾಗಿದೆ.

1. ತಾಪಮಾನ: ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅದರ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದ್ದರೂ, ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ ಶೂನ್ಯವಲ್ಲ, ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಇನ್ನೂ ಅದರ ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ 5-7 × 10⁻⁶/℃ ಆಗಿದೆ. ನಿಖರ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಅನ್ವಯದ ಸನ್ನಿವೇಶದಲ್ಲಿ, ಈ ಸ್ವಲ್ಪ ಬದಲಾವಣೆಯು ವೇದಿಕೆಯಿಂದ ವರ್ಧಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆಯ ವಿಚಲನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ದಾನಮಿ ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗಾಗಿ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, 1 ° C ನ ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತ, 1 ಮೀಟರ್ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಬದಿಯ ಉದ್ದವು 5-7 ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳ ರೇಖೀಯ ವಿಸ್ತರಣೆ ಅಥವಾ ಸಂಕೋಚನವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು, ಇದು ಚಿಪ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮಾದರಿಯ ವಿಚಲನವನ್ನು ಮಾಡಲು ಸಾಕು, ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರವಾದ ಬೇಸ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ವೇದಿಕೆ, ಆದರ್ಶ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 20 ° C ± 1 ° C ನಲ್ಲಿ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು, ಉದ್ಯಮಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನದ ಹವಾನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಬಹುದು, ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ಹೊಂದಿಸಬಹುದು, ವೇದಿಕೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು.
2. ಆರ್ದ್ರತೆ: ಸಮಂಜಸವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಮೂಲ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಿ
ತೇವಾಂಶವು ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಗಮನಾರ್ಹ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ನೀರಿನ ಆವಿಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಸುಲಭ, ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನೀಕರಣ ಇರಬಹುದು, ಇದು ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗುವುದಲ್ಲದೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸವೆತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಅದರ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಾಗಾರವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಂಡರೆ, ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 60% RH ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲ್ಪಟ್ಟ ನೀರಿನ ಆವಿಯು ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಲೆನ್ಸ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳು ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತವೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕೆಲಸದ ಪರಿಸರದ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು 40%-60% RH ನಡುವೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು, ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾದ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ರಚಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಉದ್ಯಮಗಳು ಡಿಹ್ಯೂಮಿಡಿಫೈಯರ್‌ಗಳು, ಆರ್ದ್ರತೆ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು.

3. ಸ್ವಚ್ಛತೆ: ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಿ, ಕಣಗಳ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ನಿವಾರಿಸಿ
ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳು ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ "ಶತ್ರು"ವಾಗಿದ್ದು, ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ. ಸಣ್ಣ ಕಣಗಳು ಗ್ಯಾಸ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಸ್ಲೈಡರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ನಡುವಿನ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಂತರವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ, ಅವು ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸಬಹುದು, ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಗೀಚಬಹುದು, ಇದು ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಭಾಗಗಳ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರತೆಯ ಯಂತ್ರ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ, ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿರುವ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಮೇಲೆ ಬಿದ್ದರೆ, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಉಪಕರಣದ ಚಲನೆಯ ಪಥವು ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದು ಭಾಗಗಳ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣದ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು 10,000 ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮಾನದಂಡವನ್ನು ತಲುಪಬೇಕು. ಉದ್ಯಮಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಏರ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು (HEPA) ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಮಾನವರು ತರುವ ಧೂಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸರವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸಿಬ್ಬಂದಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
4. ಕಂಪನ: ಸುಗಮ ಜಾಗವನ್ನು ರಚಿಸಲು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ
ಬಾಹ್ಯ ಕಂಪನವು ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ವೇದಿಕೆಯ ನಿಖರತೆಗೆ ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಆದಾಗ್ಯೂ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕಂಪನ ಕ್ಷೀಣಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಕಂಪನವು ಇನ್ನೂ ಅದರ ಬಫರ್ ಮಿತಿಯನ್ನು ಮುರಿಯಬಹುದು. ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಸುತ್ತಲಿನ ಸಂಚಾರ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಂಪನವು ನೆಲದ ಮೂಲಕ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಹರಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇದಿಕೆಯ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗುತ್ತದೆ. ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ CMM ನಲ್ಲಿ, ಕಂಪನವು ಅಳತೆ ಪ್ರೋಬ್ ಮತ್ತು ಅಳೆಯಬೇಕಾದ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕವು ಅಸ್ಥಿರವಾಗಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮಾಪನ ಡೇಟಾದ ವಿಚಲನವಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು, ಉಪಕರಣಗಳ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪ್ಯಾಡ್‌ಗಳನ್ನು ಹಾಕುವುದು, ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸುವುದು ಅಥವಾ ಬಾಹ್ಯ ಕಂಪನವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಸಕ್ರಿಯ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಗೆ ಶಾಂತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುವಂತಹ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅವಶ್ಯಕ.
ಮೇಲಿನ ಪರಿಸರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಿ, ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್‌ನ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ವೇದಿಕೆಯು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉದ್ಯಮಗಳು ಈ ವಿವರಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಲು ಸಾಧ್ಯವಾದರೆ, ಅವರು ನಿಖರವಾದ ಉತ್ಪಾದನೆ, ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅವಕಾಶವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತಾರೆ, ತಮ್ಮ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸುಸ್ಥಿರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತಾರೆ.