ಗ್ರಾನೈಟ್ ನೈಸರ್ಗಿಕವಾಗಿ ಕಂಡುಬರುವ ಬಂಡೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣದ ವಿಸ್ತರಣೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಇದು ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಎಲ್ಲಾ ವಸ್ತುಗಳಂತೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ತನ್ನದೇ ಆದ ದೋಷಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.
ಗ್ರಾನೈಟ್ನ ಪ್ರಮುಖ ದೋಷವೆಂದರೆ ಬಿರುಕು ಅಥವಾ ಒಡೆಯುವ ಪ್ರವೃತ್ತಿ.ಬಂಡೆಯ ರಚನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸಬಹುದಾದ ಮೈಕ್ರೋಕ್ರಾಕ್‌ಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯು ಇದಕ್ಕೆ ಕಾರಣ.ಈ ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್‌ಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಗುರುತಿಸದಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡದಿದ್ದರೆ, ಅವು ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.ಇದು ಸಂಭವಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು, ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ತಯಾರಕರು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್‌ಗಳಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ನ ಮತ್ತೊಂದು ನ್ಯೂನತೆಯೆಂದರೆ ಅದರ ತುಕ್ಕುಗೆ ಒಳಗಾಗುವುದು.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದೊಂದಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಕ್ಕೆ ಬಂದರೆ, ಅದು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಕ್ಷೀಣಿಸಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಬಹುದು.ಇದು ಉಪಕರಣಗಳು ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಬಹುದು ಅಥವಾ ಸರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸದೆ ಇರಬಹುದು.ಇದನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಿದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ತುಕ್ಕು ಸಂಭವಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಲೇಪಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ತನ್ನ ಅಂತರ್ಗತ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ಗೆ ಗುರಿಯಾಗುತ್ತದೆ.ಏಕೆಂದರೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅಂದರೆ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಾಗ ಅದು ಹೆಚ್ಚು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಅಥವಾ ಸಂಕುಚಿತಗೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸ್ವಲ್ಪ ಪ್ರಮಾಣದ ವಿಸ್ತರಣೆ ಅಥವಾ ಸಂಕೋಚನವು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.ಈ ದೋಷವು ಸಂಭವಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಸಲಕರಣೆಗಳ ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸುವಾಗ ಗ್ರಾನೈಟ್ನ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಗಣನೆಗೆ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತಾರೆ.
ಕೊನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ನ ಸರಂಧ್ರ ಸ್ವಭಾವವು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಮೊಹರು ಮಾಡದಿದ್ದರೆ, ಅದು ವೇಫರ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.ಇದು ದುಬಾರಿ ಅಲಭ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಳೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.ಇದನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ತಯಾರಕರು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಮುಚ್ಚಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅದರ ನ್ಯೂನತೆಗಳ ಬಗ್ಗೆ ತಿಳಿದಿರುವುದು ಮತ್ತು ಅವು ಸಂಭವಿಸದಂತೆ ತಡೆಯಲು ಅಗತ್ಯ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವುದು ಮುಖ್ಯ.ಸರಿಯಾದ ಕಾಳಜಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯೊಂದಿಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಹಲವು ವರ್ಷಗಳವರೆಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರೆಸಬಹುದು, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-27-2023