ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸ್ವಾಭಾವಿಕವಾಗಿ ಸಂಭವಿಸುವ ಬಂಡೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಇದು ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಎಲ್ಲಾ ವಸ್ತುಗಳಂತೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ತನ್ನದೇ ಆದ ದೋಷಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಪ್ರಮುಖ ದೋಷವೆಂದರೆ ಅದರ ಬಿರುಕು ಅಥವಾ ಮುರಿಯುವ ಪ್ರವೃತ್ತಿ. ಬಂಡೆಯ ರಚನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸಬಹುದಾದ ಮೈಕ್ರೊಕ್ರ್ಯಾಕ್‌ಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯಿಂದ ಇದು ಸಂಭವಿಸಿದೆ. ಈ ಮೈಕ್ರೊಕ್ರಾಕ್‌ಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸದಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಸರಿಯಾಗಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡದಿದ್ದರೆ, ಅವು ಪ್ರಚಾರ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಇದು ಸಂಭವಿಸದಂತೆ ತಡೆಯಲು, ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ತಯಾರಕರು ಮೈಕ್ರೊಕ್ರಾಕ್‌ಗಳಿಂದ ಮುಕ್ತರಾಗಿದ್ದಾರೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾದ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಮತ್ತೊಂದು ದೋಷವೆಂದರೆ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವ ಸಾಧ್ಯತೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದೊಂದಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಕ್ಕೆ ಬಂದರೆ, ಅದು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಕ್ಷೀಣಿಸಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಬಹುದು. ಇದು ಉಪಕರಣಗಳು ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಲು ಅಥವಾ ಸರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸದಿರಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಇದನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಿದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ತುಕ್ಕು ಸಂಭವಿಸದಂತೆ ಲೇಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅದರ ಅಂತರ್ಗತ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿದೆ. ಏಕೆಂದರೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅಂದರೆ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಾಗ ಅದು ಹೆಚ್ಚು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಅಥವಾ ಸಂಕುಚಿತಗೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅಲ್ಪ ಪ್ರಮಾಣದ ವಿಸ್ತರಣೆ ಅಥವಾ ಸಂಕೋಚನವು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪಿಂಗ್‌ಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಈ ದೋಷವು ಸಂಭವಿಸದಂತೆ ತಡೆಯಲು ಸಲಕರಣೆಗಳ ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸುವಾಗ ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಗಣನೆಗೆ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ.
ಕೊನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಸರಂಧ್ರ ಸ್ವಭಾವವು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸರಿಯಾಗಿ ಮೊಹರು ಮಾಡದಿದ್ದರೆ, ಅದು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಅದು ವೇಫರ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಇದು ದುಬಾರಿ ಅಲಭ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಕಳೆದುಹೋದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಇದನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳದಂತೆ ತಡೆಯಲು ತಯಾರಕರು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಮುಚ್ಚಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅದರ ದೋಷಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಜಾಗೃತರಾಗಿರುವುದು ಮತ್ತು ಅವು ಸಂಭವಿಸದಂತೆ ತಡೆಯಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ. ಸರಿಯಾದ ಕಾಳಜಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯೊಂದಿಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಹಲವು ವರ್ಷಗಳವರೆಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸಬಹುದು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್ -27-2023