ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಕ್ಕಾಗಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳ ದೋಷಗಳು

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಾದ ಉನ್ನತ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೀವಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಂಪನ ತೇವ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿಖರ ಸ್ಥಾನ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದರಿಂದ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು, ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಯಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಅವಶ್ಯಕ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಎಲ್ಲಾ ಅನುಕೂಲಗಳ ಹೊರತಾಗಿಯೂ, ಅವುಗಳು ದೋಷಗಳನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿವೆ. ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಿಗಾಗಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳ ದೋಷಗಳನ್ನು ನಾವು ಚರ್ಚಿಸುತ್ತೇವೆ.

ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಅವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದರ್ಥ, ಇದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಅದು ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದಾಗಿ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯಿಂದಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ವಿರೂಪತೆಯು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಜೋಡಣೆ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಸರಂಧ್ರ ದೋಷಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಸೋರಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿ ಅಥವಾ ಇತರ ಯಾವುದೇ ಅನಿಲದ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ದೋಷಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಜಡ ಅನಿಲಗಳಾದ ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ ಸರಂಧ್ರ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಹರಿಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಗುಳ್ಳೆಗಳನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು, ಅದು ನಿರ್ವಾತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಗ್ರತೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗಬಹುದು.

ಮೂರನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಮೈಕ್ರೊಫ್ರಾಕ್ಚರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗಬಹುದು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಒಂದು ಸ್ಥಿರವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದ್ದು ಅದು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಮೈಕ್ರೊಫ್ರಾಕ್ಚರ್‌ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ನಿರಂತರ ಒತ್ತಡದ ಚಕ್ರಗಳಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡಾಗ. ಮೈಕ್ರೊಫ್ರಾಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯು ಆಯಾಮದ ಅಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಜೋಡಣೆ ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಗಮನಾರ್ಹ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

ನಾಲ್ಕನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಸೀಮಿತ ನಮ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಯಾವುದೇ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಅಥವಾ ಬದಲಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಅಲಭ್ಯತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಐದನೆಯದಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಅವುಗಳ ತೂಕ ಮತ್ತು ದುರ್ಬಲತೆಯಿಂದಾಗಿ ವಿಶೇಷ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಾರಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಭಾರವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದ್ದು, ಕ್ರೇನ್ಗಳು ಮತ್ತು ಲಿಫ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ವಿಶೇಷ ನಿರ್ವಹಣಾ ಸಾಧನಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸಾರಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚುವರಿ ವೆಚ್ಚಗಳು ಮತ್ತು ಸಮಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಕೆಲವು ನ್ಯೂನತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಮೈಕ್ರೊಫ್ರಾಕ್ಚರ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸರಂಧ್ರತೆಯ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಆವರ್ತಕ ತಪಾಸಣೆ, ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸರಿಯಾದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸಾರಿಗೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸೇರಿದಂತೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಮೂಲಕ ಈ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು. ದೋಷಗಳ ಹೊರತಾಗಿಯೂ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗವಾಗಿ ಉಳಿದಿವೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳ ಉನ್ನತ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೀವಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಂಪನ ತೇವ.