ಅರೆವಾಹಕ ನಿಖರ ಹಂತಗಳು ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರ

ಜಾಗತಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ಪ್ರಸ್ತುತ "ಆಂಗ್‌ಸ್ಟ್ರೋಮ್ ಯುಗ"ದ ನಿರಂತರ ಅನ್ವೇಷಣೆಯಲ್ಲಿ ತೊಡಗಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಕೆಲವೇ ಪರಮಾಣುಗಳ ಅಗಲದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣಾ ಸಾಧನಗಳು ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಮಾಪಕಗಳಿಗೆ ಪರಿವರ್ತನೆಯಾಗುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ರಚನಾತ್ಮಕ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಬೇಡಿಕೆಯು "ಮ್ಯಾಕ್ರೋ" ನಿಂದ "ನ್ಯಾನೋ" ಗೆ ಬದಲಾಗಿದೆ. ಈ ಕ್ರಾಂತಿಯ ಹೃದಯಭಾಗದಲ್ಲಿ ಭೂಮಿಯಷ್ಟೇ ಪ್ರಾಚೀನವಾದ ವಸ್ತುವಿದೆ: ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್.

ಹಲವರು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಸರಳ ಕಲ್ಲು ಎಂದು ನೋಡುತ್ತಾರೆ, ಆದರೆ ಒಂದು ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿನ್ಯಾನೊಪೊಸಿಷನಿಂಗ್ ಹಂತಅಥವಾ ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಇದು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಆಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಧ್ಯವಿರುವ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ತಳ್ಳಲು ಬಯಸುವ OEM ಗಳಿಗೆ ಮೂಲ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಗಳ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ CMM vs. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸರ್ಫೇಸ್ ಪ್ಲೇಟ್: ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು

ಅನೇಕ ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯಗಳಲ್ಲಿ, ದಿಗ್ರಾನೈಟ್ ಸರ್ಫೇಸ್ ಪ್ಲೇಟ್ಸರ್ವವ್ಯಾಪಿ ನೆಲೆವಸ್ತು - ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಅಳತೆಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ, ಸಮತಟ್ಟಾದ ಉಲ್ಲೇಖ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ಲೇಟ್ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ CMM (ನಿರ್ದೇಶಾಂಕ ಅಳತೆ ಯಂತ್ರ) ಬೇಸ್ ಪರಸ್ಪರ ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು ಎಂಬ ಸಾಮಾನ್ಯ ತಪ್ಪು ಕಲ್ಪನೆ ಇದೆ. ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ದೃಷ್ಟಿಕೋನದಿಂದ, ಅವು ಎರಡು ವಿಭಿನ್ನ ಹಂತದ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತವೆ.

ಮೇಲ್ಮೈ ತಟ್ಟೆಯನ್ನು ಸ್ಥಿರ ಸ್ಥಿರತೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಕೆಲಸವೆಂದರೆ ಸ್ಥಿರ ಹೊರೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಸಮತಟ್ಟಾಗಿ ಉಳಿಯುವುದು. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, CMM ಅಥವಾ ನಿಖರ ಹಂತಕ್ಕಾಗಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಡೈನಾಮಿಕ್ ಹೊರೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. CMM ನ ಸೇತುವೆ ಚಲಿಸುವಾಗ ಅಥವಾ ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್ ಹಲವಾರು Gs ನಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಹಂತವನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸಿದಾಗ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ತಿರುಚುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಹಾರ್ಮೋನಿಕ್ ಅನುರಣನವನ್ನು ಸಹ ವಿರೋಧಿಸಬೇಕು.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಧಾನ್ಯ ರಚನೆಯಿಂದಾಗಿ ZHHIMG ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ "ಕಪ್ಪು ಗ್ರಾನೈಟ್" ಅನ್ನು ಡೈನಾಮಿಕ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. ಪ್ರಮಾಣಿತ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ಲೇಟ್ ಹೆಚ್ಚು ರಂಧ್ರವಿರುವ ವೈವಿಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಬಳಸಬಹುದಾದರೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಚಲನೆಯ "ಸ್ನ್ಯಾಪ್" ಮಾಪನ ಡೇಟಾವನ್ನು ಭ್ರಷ್ಟಗೊಳಿಸುವ ರಚನಾತ್ಮಕ ರಿಂಗಿಂಗ್‌ಗೆ ಅನುವಾದಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು CMM ಬೇಸ್‌ಗೆ ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಂಗ್‌ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನಿಖರ ಹಂತಗಳು: ಇಳುವರಿಯ ಅಡಿಪಾಯ

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ, ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ಎರಡು ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮೆಟ್ರಿಕ್‌ಗಳಾಗಿವೆ. ಎರಡೂ ನೇರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆನಿಖರತೆಯ ಹಂತಗಳು. DUV/EUV ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿನ ವೇಫರ್ ಹಂತವಾಗಲಿ ಅಥವಾ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆ (AOI) ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿನ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಲಿ, ಮೂಲ ವಸ್ತುವು ಉಪ-ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸಬೇಕು.

ಫ್ಯಾಬ್‌ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಸವಾಲು ಶಾಖ. ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆಕ್ಯೂವೇಟರ್‌ಗಳು ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಉಷ್ಣ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ. ಹಂತದ ಬೇಸ್ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಅಥವಾ ಉಕ್ಕಿನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದ್ದರೆ, ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಉಂಟಾಗುವ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯು ವೇಫರ್ ಜೋಡಣೆಯಿಂದ ಹೊರಹೋಗಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು "ಓವರ್‌ಲೇ ದೋಷಗಳಿಗೆ" ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಚಿಪ್‌ಗಳ ಸಂಪೂರ್ಣ ಬ್ಯಾಚ್‌ಗಳನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (CTE) ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಬಿಸಿಯಾದಾಗಲೂ, ಹಂತದ ಭೌತಿಕ "ನಕ್ಷೆ" ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ZHHIMG ಸಂಯೋಜಿತ ಗಾಳಿ ಬೇರಿಂಗ್ ಮಾರ್ಗಗಳೊಂದಿಗೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಕನ್ನಡಿಯಂತಹ ಚಪ್ಪಟೆತನಕ್ಕೆ ಲ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ್ದರಿಂದ, ಇದು ಗಾಳಿಯ ಬೇರಿಂಗ್‌ಗಳಿಗೆ ಪರಿಪೂರ್ಣ ಪ್ರತಿ-ಮುಖವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಶೂನ್ಯ ಘರ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಶೂನ್ಯ ಸ್ಟಿಕ್ಷನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಗಾಳಿಯ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಹಂತಗಳು "ತೇಲಲು" ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.

ನ್ಯಾನೊಪೊಸಿಷನಿಂಗ್ ಹಂತದ ಬೇಸ್‌ನ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ

ನಾವು ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದಾಗನ್ಯಾನೊಪೊಸಿಷನಿಂಗ್ ಹಂತ, ನಾವು ಮಾನವ ಕೂದಲುಗಿಂತ 10,000 ಪಟ್ಟು ಚಿಕ್ಕದಾದ ಚಲನೆಗಳೊಂದಿಗೆ ವ್ಯವಹರಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ. ಈ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ, ಕಂಪನವು ಶತ್ರುವಾಗಿದೆ. HVAC ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ಪಾದಚಾರಿ ಸಂಚಾರ ಮತ್ತು ಹತ್ತಿರದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮಹಡಿಗಳು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಂಪಿಸುತ್ತವೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೃಹತ್ ಕಡಿಮೆ-ಪಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆಂತರಿಕ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಂವೇದಕಗಳು ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ತಲುಪುವ ಮೊದಲು ಅದು ನೈಸರ್ಗಿಕವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ "ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ"ಯಿಂದಾಗಿ ವಿಶ್ವದ ಪ್ರಮುಖ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ತಮ್ಮ ನಿರ್ವಾತ-ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಭಾರವಾದ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಡಿಪಾಯಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ZHHIMG ಅನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದ್ದಾರೆ. ಶೂನ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಹೋಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಮ್ಮ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್-ಕಿರಣ ಮತ್ತು EUV ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಮಿತಿಗೆ ಇಳಿಯುವುದು: ZHHIMG ಪ್ರಯೋಜನ

ಕಚ್ಚಾ ಕಲ್ಲಿನ ಬ್ಲಾಕ್‌ನಿಂದ ಅರೆವಾಹಕ-ದರ್ಜೆಯ ಘಟಕಕ್ಕೆ ಪರಿವರ್ತನೆಯು ಅತ್ಯಂತ ತಾಳ್ಮೆಯ ಪ್ರಯಾಣವಾಗಿದೆ. CNC ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಮ್ಮನ್ನು ಹತ್ತಿರಕ್ಕೆ ತರುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಅಂತಿಮ "ಸೂಪರ್-ನಿಖರತೆ" ದರ್ಜೆಯನ್ನು ಕೈಯಿಂದ ಹೊಡೆಯುವ ಮೂಲಕ ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ZHHIMG ತಂತ್ರಜ್ಞರು ಅಪಘರ್ಷಕ ಪೇಸ್ಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಚಲನೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಒಂದು ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೈಕ್ರಾನ್‌ನ ಭಿನ್ನರಾಶಿಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ.

ಅದಕ್ಕಾಗಿನ್ಯಾನೊಪೊಸಿಷನಿಂಗ್ ಹಂತ, ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮಾತ್ರ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಲ್ಲ; ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಮೇಲ್ಮೈಗಳ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಮತ್ತು ಲಂಬತೆಯು ಸಮಾನವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಅಕ್ಷವು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆಯೇ ಎಂದು ಪರಿಶೀಲಿಸಲು ನಮ್ಮ ಸೌಲಭ್ಯವು 0.1 ಆರ್ಕ್-ಸೆಕೆಂಡುಗಳ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಲೇಸರ್ ಟ್ರ್ಯಾಕರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮಟ್ಟಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ಮಟ್ಟದ ಕರಕುಶಲತೆಯು ಗ್ರಾಹಕರು ತಮ್ಮ ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಎನ್‌ಕೋಡರ್‌ಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿದಾಗ, ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರವು ಅನುಮತಿಸುವಷ್ಟು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಅಡಿಪಾಯವು "ಪರಿಪೂರ್ಣ" ಕ್ಕೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಭವಿಷ್ಯ-ಪ್ರೂಫಿಂಗ್ ದಿ ಫ್ಯಾಬ್

ಉದ್ಯಮವು 2nm ನೋಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಕ್ಕೆ ಚಲಿಸುವಾಗ, ವಸ್ತು ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ತೀವ್ರಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಕಾರ್ಬನ್ ಫೈಬರ್ ಸೇತುವೆಗಳು ಅಥವಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್‌ಗಳಂತಹ ಇತರ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಏಕೀಕರಣವು ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿ ಮುಂದಿನ ಗಡಿಯಾಗಿದೆ.

ZHHIMG ಕೇವಲ ಪೂರೈಕೆದಾರರಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನವರಾಗಿರಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ; ನಾವು ಜಾಗತಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ಸಹಯೋಗಿ ಪಾಲುದಾರರಾಗಿದ್ದೇವೆ. ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ನಿಖರ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಸ್ಟೇಬಲ್ ಅಡಿಪಾಯಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಭವಿಷ್ಯವನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸುವ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ನಾವು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.