ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಬಳಸಿ ಸಿಂಗಲ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ: ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ವೇಫರ್‌ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಂಗಲ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟಿಂಗ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಟೇಬಲ್‌ಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ASML ಮತ್ತು ಇತರ ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯವಾಗಿ ಪ್ರಸಿದ್ಧವಾದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟಿಂಗ್ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ, ಇದು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮಾದರಿಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ನ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಚಿಪ್‌ನ ಏಕೀಕರಣ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿಖರ ಮಾಪನ ಕ್ಷೇತ್ರ: CMM ಎನ್ನುವುದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ನಿಖರ ಮಾಪನ ಸಾಧನವಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಗಾತ್ರ, ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಏಕ ಅಕ್ಷದ ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವಿಕೆಯ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಅನ್ನು CMM ನ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಅಳತೆ ತನಿಖೆಗೆ ಸ್ಥಿರ ಚಲನೆಯ ಪಥವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಷಡ್ಭುಜಾಕೃತಿಯ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ CMM ಈ ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ಮೈಕ್ರಾನ್ ಮಟ್ಟದವರೆಗೆ ಅಳತೆ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ದೊಡ್ಡ ಮತ್ತು ಸಂಕೀರ್ಣ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಆಟೋಮೋಟಿವ್, ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಭಾಗಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಬಲವಾದ ಖಾತರಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಕ್ಷೇತ್ರ: ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ವಿಮಾನ ಎಂಜಿನ್ ಬ್ಲೇಡ್‌ಗಳ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಕ್ಕೆ ಬ್ಲೇಡ್ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಉಪಕರಣದ ಚಲನೆಯ ಪಥದ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಉಪಕರಣಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಮತ್ತು ಬ್ಲೇಡ್‌ನ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣದ ನಿಖರತೆಯು ವಿನ್ಯಾಸದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದೆಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಏಕ ಅಕ್ಷದ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರತೆಯ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಐದು-ಅಕ್ಷದ ಯಂತ್ರ ಕೇಂದ್ರ ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಏರೋ ಎಂಜಿನ್‌ನ ಜೋಡಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಭಾಗಗಳ ಜೋಡಣೆ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅಳತೆ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಸಹ ಅಗತ್ಯವಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಜೋಡಣೆ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಳತೆ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸ್ಥಿರ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಚಲನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆ ಕ್ಷೇತ್ರ: ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು ಮಾಪನವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಕನ್ನಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಮಸೂರಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವಾಗ, ಮೇಲ್ಮೈ ಆಕಾರದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಸಿಂಗಲ್ ಅಕ್ಷದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್‌ನ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಇದು ಸಬ್-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಪತ್ತೆಗೆ ನಿಖರವಾದ ಡೇಟಾ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಲೇಸರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಲೇಸರ್ ಕಿರಣದ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಪಥವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಸಹ ಅಗತ್ಯವಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಈ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.