ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಪನ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮವು ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳತ್ತ ಸಾಗುತ್ತಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಕೊಂಡಿಯಾಗಿ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಉಪಕರಣಗಳ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್, ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಂಪನ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ, ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಖಾತರಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕಂಪನ-ವಿರೋಧಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು: ನ್ಯಾನೊ-ಮಟ್ಟದ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುವುದು.
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತಿರುವಾಗ, ಸ್ಪಿಂಡಲ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ತಿರುಗುವಿಕೆ, ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಪರಿಸರ ಕಂಪನ ಎಲ್ಲವೂ ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಗಮನಾರ್ಹ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿದ್ದು, ಕಂಪನಗಳನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಮೈಕ್ರಾನ್-ಮಟ್ಟದ ನಡುಕಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ಡ್ ಅಂಚುಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಬಿರುಕುಗಳಂತಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಈ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಪರಿಹರಿಸಿವೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಆಂತರಿಕ ಖನಿಜ ಹರಳುಗಳು ನಿಕಟವಾಗಿ ಹೆಣೆದುಕೊಂಡಿದ್ದು, ನೈಸರ್ಗಿಕ ಶಕ್ತಿಯ ಪ್ರಸರಣ ರಚನೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ. ಕಂಪನವನ್ನು ಬೇಸ್‌ಗೆ ರವಾನಿಸಿದಾಗ, ಅದರ ಆಂತರಿಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ಕಂಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಉಷ್ಣ ಶಕ್ತಿಯನ್ನಾಗಿ ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ, ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಕಂಪನ ಕ್ಷೀಣತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ದತ್ತಾಂಶವು ಅದೇ ಕಂಪನ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ 0.5 ಸೆಕೆಂಡುಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಪನ ವೈಶಾಲ್ಯವನ್ನು 90% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಲೋಹದ ಬೇಸ್‌ಗೆ 3 ರಿಂದ 5 ಸೆಕೆಂಡುಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣವು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯ ಮೃದುವಾದ ಅಂಚನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ದರವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, 5nm ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಹೊಂದಿರುವ ಉಪಕರಣಗಳು 10μm ಒಳಗೆ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು, ಇದು ಲೋಹದ ಬೇಸ್ ಹೊಂದಿರುವ ಉಪಕರಣಗಳಿಗಿಂತ 40% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.
ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ: ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳ ಪ್ರಭಾವಕ್ಕೆ ನಿರೋಧಕ.
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಘರ್ಷಣೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖ, ಉಪಕರಣಗಳ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಉಪಕರಣದ ಘಟಕಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಲೋಹೀಯ ವಸ್ತುಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ (ಸರಿಸುಮಾರು 12×10⁻⁶/℃). ತಾಪಮಾನವು 5℃ ರಷ್ಟು ಏರಿಳಿತಗೊಂಡಾಗ, 1-ಮೀಟರ್ ಉದ್ದದ ಲೋಹದ ಬೇಸ್ 60μm ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು, ಇದು ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ ಕೇವಲ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ಆಗಿದೆ, ಇದು ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳ ಮೂರನೇ ಒಂದು ಭಾಗಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ. ಅದೇ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಅದರ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಬಹುತೇಕ ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಬಹುದು. ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದ ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ದತ್ತಾಂಶವು 8-ಗಂಟೆಗಳ ನಿರಂತರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತೀವ್ರತೆಯ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು 10℃ ರಷ್ಟು ಏರಿಳಿತಗೊಂಡಾಗ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಹೊಂದಿರುವ ಉಪಕರಣದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಾನದ ಆಫ್‌ಸೆಟ್ 20μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಲೋಹದ ಬೇಸ್ ಹೊಂದಿರುವ ಉಪಕರಣದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಾನದ ಆಫ್‌ಸೆಟ್ 60μm ಮೀರುತ್ತದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಸ್ಥಿರ ಉಷ್ಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ನಡುವಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸ್ಥಾನವು ಎಲ್ಲಾ ಸಮಯದಲ್ಲೂ ನಿಖರವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಅಥವಾ ಪರಿಸರ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ತೀವ್ರ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ, ಕತ್ತರಿಸುವ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ​
ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆ: ಉಪಕರಣಗಳ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
ಕಂಪನ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳ ಜೊತೆಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೊಹ್ಸ್ ಮಾಪಕದಲ್ಲಿ 6 ರಿಂದ 7 ರ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು 120MPa ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಕೋಚಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ಪ್ರಚಂಡ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಪ್ರಭಾವದ ಬಲವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು ಮತ್ತು ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಏತನ್ಮಧ್ಯೆ, ಅದರ ದಟ್ಟವಾದ ರಚನೆಯು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಆಗಾಗ್ಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ, ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಸವೆಯುವ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿಲ್ಲ, ಉಪಕರಣವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ಅನೇಕ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ ಉತ್ಪನ್ನ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸಿವೆ. ಜಾಗತಿಕವಾಗಿ ಪ್ರಮುಖ ಫೌಂಡ್ರಿಯ ದತ್ತಾಂಶವು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿದ ನಂತರ, ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಇಳುವರಿ 88% ರಿಂದ 95% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರವನ್ನು ಮೂರು ಪಟ್ಟು ವಿಸ್ತರಿಸಲಾಗಿದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್, ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಂಪನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ, ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸಮಗ್ರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಖಾತರಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಡೆಗೆ ಮುಂದುವರೆದಂತೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳು ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಮಹತ್ವದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ನಿರಂತರ ನವೀನ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತವೆ.