ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೋಷ್ಟಕಕ್ಕೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಅನುಕೂಲ.

​
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಕೊಂಡಿಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆ ಕೋಷ್ಟಕದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯು ಪತ್ತೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಕೋಷ್ಟಕಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಬಹು-ಆಯಾಮದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯಿಂದ ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳು.

ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ನಿಖರತೆಯ ಖಾತರಿ ಆಯಾಮ
1. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಫ್ಲಾಟ್‌ನೆಸ್ ಮತ್ತು ನೇರತೆ: ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಿಂದ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಫ್ಲಾಟ್‌ನೆಸ್ ±0.001mm/m ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು ಮತ್ತು ನೇರತೆಯೂ ಸಹ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರವಾದ ಸಮತಲವು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪ್ರೋಬ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿರುವ ಬೆಸುಗೆ ಕೀಲುಗಳ ನಡುವೆ ನಿಖರವಾದ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ​
2. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ: ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸುಮಾರು 5×10⁻⁶/℃. ಪತ್ತೆ ವೇದಿಕೆ ಚಾಲನೆಯಲ್ಲಿರುವಾಗ, ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು ಏರಿಳಿತಗೊಂಡರೂ ಸಹ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಗಾತ್ರವು ಬಹಳ ಕಡಿಮೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಬೇಸಿಗೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ, ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೋಹದ ಬೇಸ್ ಪತ್ತೆ ವೇದಿಕೆಯ ತಾಪಮಾನವು ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದು ಪತ್ತೆ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ; ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪತ್ತೆ ವೇದಿಕೆಯು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಪತ್ತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸ್ಥಾನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಪತ್ತೆಗಾಗಿ ಸ್ಥಿರ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಸ್ಥಿರತೆಯ ಆಯಾಮ
1. ಸ್ಥಿರ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಂಪನ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಲಕ್ಷಾಂತರ ವರ್ಷಗಳ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ನಂತರ ಗ್ರಾನೈಟ್, ಆಂತರಿಕ ರಚನೆಯು ದಟ್ಟ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಸಂಕೀರ್ಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಬಾಹ್ಯ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಬ್ಬಂದಿಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಕಂಪನವನ್ನು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
2. ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಬಳಕೆಯ ನಿಖರತೆ: ಇತರ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಬಲವಾದ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಮೊಹ್ಸ್ ಗಡಸುತನವು 6-7 ತಲುಪಬಹುದು. ಆಗಾಗ್ಗೆ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್, ಇಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಧರಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಡೇಟಾ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳ ನಿಜವಾದ ಬಳಕೆಯ ಪ್ರಕಾರ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೋಷ್ಟಕದ ಬಳಕೆ, 5000 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ, ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ನೇರತೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಇನ್ನೂ ಆರಂಭಿಕ ನಿಖರತೆಯ 98% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು, ನಿಯಮಿತ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಸಮಯಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಬೇಸ್‌ನ ಸವೆತದಿಂದಾಗಿ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವ್ಯಾಪಾರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೆಲಸದ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು.

ಮೂರನೆಯದು, ಶುದ್ಧ ಮತ್ತು ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ-ವಿರೋಧಿ ಆಯಾಮ
1. ಕಡಿಮೆ ಧೂಳು ಉತ್ಪಾದನೆ: ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರವು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿರಬೇಕು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುವು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಬೇಕು ಮತ್ತು ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಸುಲಭವಲ್ಲ. ಪರೀಕ್ಷಾ ವೇದಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಬೇಸ್‌ನಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಧೂಳನ್ನು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಶಾರ್ಟ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮತ್ತು ಓಪನ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ನ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ತಪಾಸಣೆ ಮೇಜಿನ ಸುತ್ತಲಿನ ಧೂಳಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಯಾವಾಗಲೂ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ. ​
2. ಕಾಂತೀಯ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವಿಲ್ಲ: ಪತ್ತೆ ಸಾಧನವು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಒಂದು ಕಾಂತೀಯವಲ್ಲದ ವಸ್ತುವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಪತ್ತೆ ಸಾಧನದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಿಗ್ನಲ್‌ಗೆ ಅಡ್ಡಿಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಪರಿಸರದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಇತರ ಪರೀಕ್ಷಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪತ್ತೆ ಸಾಧನದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಿಗ್ನಲ್‌ನ ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಾ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪರೀಕ್ಷಿಸಿದಾಗ, ಕಾಂತೀಯವಲ್ಲದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪತ್ತೆ ಕರೆಂಟ್ ಮತ್ತು ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಸಿಗ್ನಲ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪತ್ತೆ ದತ್ತಾಂಶವು ನಿಜವಾಗಿಯೂ ವೇಫರ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿಬಿಂಬಿಸುತ್ತದೆ.