ಅರೆವಾಹಕ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ಗಳ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

​
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ನಿಖರತೆಯು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಜೀವಾಳವಾಗಿದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರಮುಖ ಕೊಂಡಿಯಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು, ಅದರ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಮೇಲೆ ಬಹುತೇಕ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ವಿಧಿಸುತ್ತವೆ. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ನಿಜವಾದ ಪರೀಕ್ಷಾ ದತ್ತಾಂಶದ ಮೂಲಕ ಅರೆವಾಹಕ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಆಳವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ. ​
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಳತೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅತ್ಯಂತ ಸಂಕೀರ್ಣ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರೇಖೆಗಳ ಅಗಲವು ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದೆ. ಅಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣದೊಂದು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಯು ಸಹ ಉಪಕರಣಗಳ ಘಟಕಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಕೋಚನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮಾಪನ ದೋಷಗಳು ಉಂಟಾಗಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣದ ಅಳತೆಯ ನಿಖರತೆಯು 1 ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್‌ನಿಂದ ವಿಚಲನಗೊಂಡರೆ, ಅದು ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಶಾರ್ಟ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಓಪನ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳಂತಹ ಗಂಭೀರ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಇದು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಉದ್ಯಮದ ದತ್ತಾಂಶ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿ 1℃ ಏರಿಳಿತಕ್ಕೆ, ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ವಸ್ತು ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣ ವೇದಿಕೆಯು ಹಲವಾರು ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್‌ಗಳ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ±0.1 ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್‌ಗಳ ಒಳಗೆ ಮಾಪನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಇದು ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದೇ ಎಂದು ನಿರ್ಧರಿಸುವಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು
ನೈಸರ್ಗಿಕ ಕಲ್ಲಿನ ಒಂದು ವಿಧವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್, ಸಾಂದ್ರವಾದ ಆಂತರಿಕ ಖನಿಜ ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣ, ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 4.5 ರಿಂದ 6.5×10⁻⁶/K ವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹಗಳಂತಹ ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೋಹೀಯ ವಸ್ತುಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು 23.8×10⁻⁶/K ವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಇದು ಗ್ರಾನೈಟ್‌ಗಿಂತ ಹಲವಾರು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು. ಇದರರ್ಥ ಅದೇ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಯು ಲೋಹದ ವೇದಿಕೆಗಿಂತ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಳತೆ ಉಲ್ಲೇಖವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯು ಅದಕ್ಕೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಶಾಖ ವಹನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯು ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದಾಗ ಅಥವಾ ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು ಬದಲಾದಾಗ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯು ಶಾಖವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಮತ್ತು ಸಮವಾಗಿ ನಡೆಸಬಹುದು, ಸ್ಥಳೀಯ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಅತಿಯಾಗಿ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವೇದಿಕೆಯ ಒಟ್ಟಾರೆ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಳತೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮಾಪನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ವಿಧಾನ
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು, ನಾವು ಕಠಿಣ ಮಾಪನ ಯೋಜನೆಯನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ್ದೇವೆ. ಸೂಪರ್-ನಿಖರ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಅಳತೆ ಉಪಕರಣವನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿ. ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿನ ಸಾಮಾನ್ಯ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಅನುಕರಿಸಲಾಯಿತು, ಅಂದರೆ, ಕ್ರಮೇಣ 20℃ ನಿಂದ 35℃ ಗೆ ಬಿಸಿ ಮಾಡಿ ನಂತರ 20℃ ಗೆ ತಣ್ಣಗಾಗಿಸಲಾಯಿತು. ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು 8 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ನಡೆಯಿತು. ​
ಅಳತೆ ಉಪಕರಣದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವೇದಿಕೆಯ ನಡುವಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸ್ಥಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಏತನ್ಮಧ್ಯೆ, ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ವೇದಿಕೆಯ ವಿವಿಧ ಸ್ಥಾನಗಳಲ್ಲಿ ಬಹು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಯೋಗದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಡೇಟಾದ ಸಂಪೂರ್ಣತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸ್ಥಳಾಂತರ ದತ್ತಾಂಶ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಪ್ರತಿ 15 ನಿಮಿಷಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ ದಾಖಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾ ಮತ್ತು ಫಲಿತಾಂಶ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ
ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಮತ್ತು ವೇದಿಕೆಯ ಗಾತ್ರದ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಬಂಧ
ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ದತ್ತಾಂಶವು ತಾಪಮಾನವು 20℃ ರಿಂದ 35℃ ಗೆ ಏರಿದಾಗ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ರೇಖೀಯ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಯು ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಲೆಕ್ಕಾಚಾರದ ನಂತರ, ಸಂಪೂರ್ಣ ತಾಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ, ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ಗರಿಷ್ಠ ರೇಖೀಯ ವಿಸ್ತರಣೆ ಕೇವಲ 0.3 ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಳತೆ ನಿಖರತೆಗಾಗಿ ದೋಷ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯ ಶ್ರೇಣಿಗಿಂತ ತೀರಾ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ. ತಂಪಾಗಿಸುವ ಹಂತದಲ್ಲಿ, ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಗಾತ್ರವು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಆರಂಭಿಕ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಮರಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಗಾತ್ರ ಬದಲಾವಣೆಯ ವಿಳಂಬ ವಿದ್ಯಮಾನವನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಬಹುದು. ಗಮನಾರ್ಹ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣವು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಮೌಲ್ಯೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ​
ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ
ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕದಿಂದ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾದ ದತ್ತಾಂಶವು ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯು ಅತ್ಯಂತ ಏಕರೂಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ತಾಪಮಾನವು ಅತ್ಯಂತ ತೀವ್ರವಾಗಿ ಬದಲಾದ ಹಂತದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ, ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿ ಅಳತೆ ಬಿಂದುವಿನ ನಡುವಿನ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಯಾವಾಗಲೂ ± 0.1℃ ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯು ಅಸಮ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವೇದಿಕೆ ವಿರೂಪವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ, ಮಾಪನ ಉಲ್ಲೇಖ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮಾಪನ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ​
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಸ್ತು ವೇದಿಕೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅದೇ ರೀತಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೀಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳ ದತ್ತಾಂಶಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿದ್ದವು. ಅದೇ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ವೇದಿಕೆಯ ರೇಖೀಯ ವಿಸ್ತರಣೆಯು 2.5 ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಇದು ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಿಂತ ಎಂಟು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು. ಏತನ್ಮಧ್ಯೆ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯು ಅಸಮವಾಗಿದೆ, ಗರಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು 0.8℃ ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವೇದಿಕೆಯ ಸ್ಪಷ್ಟ ವಿರೂಪತೆ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಉಪಕರಣಗಳ ನಿಖರವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳು ಮಾಪನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಆಧಾರವಾಗಿವೆ. ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ದತ್ತಾಂಶವು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಬಲವಾಗಿ ಸಾಬೀತುಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯತ್ತ ಸಾಗುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಪ್ರಯೋಜನವು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರಮುಖವಾಗುತ್ತದೆ, ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಾವೀನ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಚಾಲನೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.