ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ನಿಖರವಾದ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು "ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ರೇಖೆಯ ಜೀವಸೆಲೆ"ಯಂತಿದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯು ಚಿಪ್‌ಗಳ ಇಳುವರಿ ದರವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ಹೊಸ ಪೀಳಿಗೆಯ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳನ್ನು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಕ್ರಾಂತಿಕಾರಿಯಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನುಕೂಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಅನ್‌ಲಾಕ್ ಮಾಡಲು ನಿಖರವಾಗಿ ಕೋರ್ ಕೋಡ್ ಆಗಿದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್: ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕಾಗಿ "ಕಲ್ಲು-ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಅಡಿಪಾಯ"ವನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸುವುದು.
ನೂರಾರು ಮಿಲಿಯನ್ ವರ್ಷಗಳ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಪರಿಷ್ಕರಣೆಗೆ ಒಳಗಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್, ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಆಂತರಿಕ ಖನಿಜ ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣವು ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಮೂಲ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳ ಸಂಕೀರ್ಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್, ಅದರ ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ (ಕೇವಲ 5-7 × 10⁻⁶/℃), ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ, ಬೇಸ್ ಗಾತ್ರದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪ್ರಸರಣ ಮಾರ್ಗ ವಿಚಲನವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಂಪನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳ ಪ್ರಾರಂಭ, ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ವೇಗವರ್ಧನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಹಾಗೂ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿನ ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಬಾಹ್ಯ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪಗಳನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕಾಗಿ "ಶೂನ್ಯ ಶೇಕ್" ನೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಏತನ್ಮಧ್ಯೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ಕಾರಕಗಳು ಬಾಷ್ಪಶೀಲವಾಗಿರುವ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ ಕಾರ್ಯಾಗಾರಗಳಲ್ಲಿ ಅದು ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವುದಿಲ್ಲ ಅಥವಾ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಹೀಗಾಗಿ ವಸ್ತುವಿನ ವಯಸ್ಸಾದಿಕೆ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲಿನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. ನಯವಾದ ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಧೂಳಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೂಲದಿಂದ ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ "ಗೋಲ್ಡನ್ ಪಾರ್ಟ್‌ನರ್‌ಶಿಪ್" ಪರಿಣಾಮ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಸರಣ ಕ್ಲಿಯರೆನ್ಸ್ ಇಲ್ಲದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗವರ್ಧನೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ವೇಗದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು, ವೇಫರ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಮಿಷನ್‌ಗೆ "ವೇಗದ, ನಿಖರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ" ದ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅದಕ್ಕೆ ಘನ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಬೆಂಬಲ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಅಧಿಕವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಎರಡೂ ಒಟ್ಟಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತವೆ. ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅನ್ನು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಟ್ರ್ಯಾಕ್‌ನಲ್ಲಿ ಚಲಾಯಿಸಲು ಚಾಲನೆ ಮಾಡಿದಾಗ, ಬೇಸ್‌ನ ಬಲವಾದ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯು ಮೋಟಾರ್ ಚಾಲನಾ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಬೇಸ್ ವಿರೂಪತೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಬಲ ನಷ್ಟ ಅಥವಾ ಪ್ರಸರಣ ವಿಳಂಬವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ.
ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಡಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ, ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಉಪ-ಮೈಕ್ರಾನ್-ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಳಾಂತರ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು (±1μm ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುವ ಫ್ಲಾಟ್‌ನೆಸ್ ದೋಷಗಳೊಂದಿಗೆ) ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತವೆ, ವೇಫರ್ ಪ್ರಸರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ದೋಷವು ±5μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುವುದನ್ನು ಜಂಟಿಯಾಗಿ ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಉಪಕರಣಗಳ ನಡುವೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಶಟ್ಲಿಂಗ್ ಆಗಿರಲಿ ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಹಸ್ತಾಂತರಕ್ಕಾಗಿ ನಿಖರವಾದ ಪಾರ್ಕಿಂಗ್ ಆಗಿರಲಿ, ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯು ವೇಫರ್ ಪ್ರಸರಣದಲ್ಲಿ "ಶೂನ್ಯ ವಿಚಲನ ಮತ್ತು ಶೂನ್ಯ ಜಿಟ್ಟರ್" ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಉದ್ಯಮ ಅಭ್ಯಾಸ ಪರಿಶೀಲನೆ: ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ದರದಲ್ಲಿ ಉಭಯ ಸುಧಾರಣೆ.
ತನ್ನ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಜಾಗತಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮವು ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ + ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು 40% ಹೆಚ್ಚಿಸಿತು, ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಘರ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಆಫ್‌ಸೆಟ್‌ನಂತಹ ದೋಷಗಳ ಸಂಭವಿಸುವಿಕೆಯ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು 85% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿತು ಮತ್ತು ಚಿಪ್‌ಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಇಳುವರಿ ದರವನ್ನು 6% ರಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಿತು. ಡೇಟಾದ ಹಿಂದೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಒದಗಿಸಿದ ಪ್ರಸರಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಖಾತರಿ ಮತ್ತು ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟರ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಸಿನರ್ಜಿ ಪರಿಣಾಮವಿದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ನಷ್ಟ ಮತ್ತು ದೋಷವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದ ನಿಖರ ಉತ್ಪಾದನೆಯವರೆಗೆ, ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳಿಂದ ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಪರಿಶೀಲನೆಯವರೆಗೆ, ರೇಖೀಯ ಮೋಟಾರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯು ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಮರು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಿದೆ. ಭವಿಷ್ಯದಲ್ಲಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು 3nm ಮತ್ತು 2nm ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಕಡೆಗೆ ಮುಂದುವರೆದಾಗ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಅವುಗಳ ಭರಿಸಲಾಗದ ಅನುಕೂಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗೆ ಬಲವಾದ ಪ್ರಚೋದನೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತಲೇ ಇರುತ್ತವೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮೇ-14-2025