ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕುಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿರೋಧದಂತಹ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಘಟಕಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸುವಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯು ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಾಗಿವೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಸ್ವಲ್ಪ ವಿಚಲನಗಳು ಸಹ ಇಡೀ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅಪಾಯಕ್ಕೆ ತಳ್ಳಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಆ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಿದ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕೆಲವು ಭಾಗಗಳು ಸೇರಿವೆ:
1. ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್ ಟೇಬಲ್
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಹಿಡಿದಿಡಲು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್ ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಇದು ಸ್ಥಿರವಾದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಈ ಟೇಬಲ್ ತಯಾರಿಸಲು ಒಂದು ಆದರ್ಶ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಸಮತಟ್ಟಾದ, ರಂಧ್ರವಿಲ್ಲದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿದ್ದು ಅದು ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.
2. ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತ
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳ ಮೂಲಕ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಘರ್ಷಣೆಯಿಲ್ಲದ ಚಲನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಹಂತವನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಈ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ನಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಮತ್ತು ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಕಲ್ಲು, ಮತ್ತು ಇದು ವಿರೂಪತೆಯನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಧರಿಸುತ್ತದೆ.
3. ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಗಳು
ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಗಳನ್ನು ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಕ್ಕೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಅವುಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಇರಿಸಬೇಕು. ಈ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಯನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ವಸ್ತುವು ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ, ಇದು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
4. ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪಕರಣಗಳು
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ನ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಈ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಲು ಒಂದು ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೀವಿ, ಕಡಿಮೆ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಲೋಡ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಕನಿಷ್ಠ ವಿರೂಪತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪಕರಣಗಳು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ಉಳಿದಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ, ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವೆಂದು ಸಾಬೀತಾಗಿದೆ. ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ, ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನೇಕ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶಗಳೊಂದಿಗೆ, ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳು ಈ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳತ್ತ ತಿರುಗಿದ್ದಾರೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮಾರ್ಚ್ -19-2024