ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಯಾವ ಕೋರ್ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ?

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅತ್ಯಂತ ಜನಪ್ರಿಯ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಒಂದು. ಇದು ಒಂದು ರೀತಿಯ ಗಟ್ಟಿಯಾದ, ಅಗ್ನಿಶಿಲೆಯ ಬಂಡೆಯಾಗಿದ್ದು ಅದು ಬೂದು, ಗುಲಾಬಿ ಮತ್ತು ಬಿಳಿ ವಿವಿಧ des ಾಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅದರ ಬಾಳಿಕೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದು ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಈ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಆರಂಭಿಕ ತಲಾಧಾರವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಕೋಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳ ನಡುವೆ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ಫ್ಲಾಟ್ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವ ಮತ್ತೊಂದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಯೆಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು, ಚೇಂಬರ್ ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಮುಚ್ಚಬೇಕು, ಅಲ್ಲಿಯೇ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆ ಮೀರಿದ ದರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆಯು ಪರಿಪೂರ್ಣವಾದ ಮುದ್ರೆಯನ್ನು ರಚಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಜೋಡಣೆ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಅನನ್ಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತೊಂದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ವಿವಿಧ ಭಾಗಗಳನ್ನು ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸುವ ಜವಾಬ್ದಾರಿಯನ್ನು ಈ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ ಹೊಂದಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಜೋಡಣೆ ಹಂತಗಳ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ನಿರ್ಮಾಣದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೀವಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಜೋಡಣೆ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬಳಸುವ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಮತ್ತೊಂದು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸುವಲ್ಲಿ ಈ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ನಿಖರತೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಗಟ್ಟಿಯಾದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತದ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಒಂದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯಂತಹ ವಿಶಿಷ್ಟ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಹಲವಾರು ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್, ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಜೋಡಣೆ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಮೆಟ್ರಾಲಜಿ ಉಪವ್ಯವಸ್ಥೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬಳಕೆಯು ಹಲವಾರು ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳನ್ನು ಪರಿವರ್ತಿಸಿದ ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡಿದೆ.