ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಾಗಿ ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ನೋಟವನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸುವುದು ಹೇಗೆ?

ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಯಂತ್ರಗಳು ಸರಾಗವಾಗಿ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅವು ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬಳಸುವುದರಿಂದ, ಅವು ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಸವೆದುಹೋಗಬಹುದು, ಅವುಗಳ ನೋಟ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ನ ನೋಟವನ್ನು ಹೇಗೆ ಸರಿಪಡಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಅದರ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸುವುದು ಎಂಬುದನ್ನು ನಾವು ಚರ್ಚಿಸುತ್ತೇವೆ.

ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ನೋಟವನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸುವುದು:

ಹಂತ 1: ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ- ನೀವು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ದುರಸ್ತಿ ಮಾಡಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವ ಮೊದಲು, ಅದರ ಮೇಲ್ಮೈ ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಕಸ ಅಥವಾ ಕೊಳಕಿನಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ. ಅದನ್ನು ಒದ್ದೆಯಾದ ಬಟ್ಟೆಯಿಂದ ಒರೆಸಿ ಒಣಗಲು ಬಿಡಿ.

ಹಂತ 2: ಯಾವುದೇ ಚಿಪ್ಸ್ ಅಥವಾ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ತುಂಬಿಸಿ- ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಚಿಪ್ಸ್ ಅಥವಾ ಬಿರುಕುಗಳು ಇದ್ದರೆ, ಅವುಗಳನ್ನು ಗ್ರಾನೈಟ್ ರಿಪೇರಿ ಎಪಾಕ್ಸಿ ಅಥವಾ ಪೇಸ್ಟ್‌ನಿಂದ ತುಂಬಿಸಿ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಬಣ್ಣಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ನೆರಳನ್ನು ಬಳಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಸಮವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಿ.

ಹಂತ 3: ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಮರಳು ಕಾಗದದಿಂದ ಉಜ್ಜಿಕೊಳ್ಳಿ- ಎಪಾಕ್ಸಿ ಅಥವಾ ಪೇಸ್ಟ್ ಒಣಗಿದ ನಂತರ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಮರಳು ಕಾಗದವನ್ನು ಬಳಸಿ ಮರಳು ಕಾಗದದಿಂದ ಉಜ್ಜಿಕೊಳ್ಳಿ. ಇದು ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಶೇಷವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಹಂತ 4: ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿ- ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಸಂಯುಕ್ತವನ್ನು ಬಳಸಿ. ಸಂಯುಕ್ತವನ್ನು ಮೃದುವಾದ ಬಟ್ಟೆಗೆ ಹಚ್ಚಿ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಚಲನೆಯಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿ. ಮೇಲ್ಮೈ ನಯವಾದ ಮತ್ತು ಹೊಳೆಯುವವರೆಗೆ ಪುನರಾವರ್ತಿಸಿ.

ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸುವುದು:

ಹಂತ 1: ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಿರಿ- ನೀವು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವ ಮೊದಲು, ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅಥವಾ ಯಾವುದೇ ಇತರ ಅಳತೆ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಪ್ರಸ್ತುತ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯಿರಿ.

ಹಂತ 2: ಸಮತಲತೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ- ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್ ಸಮತಲವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ. ಸಮತಲತೆಯನ್ನು ಪರೀಕ್ಷಿಸಲು ಸ್ಪಿರಿಟ್ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಬಳಸಿ ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ ಲೆವೆಲಿಂಗ್ ಪಾದಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ.

ಹಂತ 3: ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ- ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಯಾವುದೇ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಬಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ. ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಯಾವುದೇ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಲು ನಿಖರವಾದ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮಾಪಕವನ್ನು ಬಳಸಿ.

ಹಂತ 4: ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್- ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ನೀವು ಗುರುತಿಸಿದ ನಂತರ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಮಾಡಲು ಹ್ಯಾಂಡ್ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಉಪಕರಣವನ್ನು ಬಳಸಿ. ಇದು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿರುವ ಯಾವುದೇ ಎತ್ತರದ ಕಲೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ನಯವಾದ ಮತ್ತು ಸಮ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಹಂತ 5: ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು-ಅಳತೆ ಮಾಡಿ- ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಅಥವಾ ಅಳತೆ ಉಪಕರಣವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು-ಅಳತೆ ಮಾಡಿ. ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ, ನಿಖರತೆಯು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವವರೆಗೆ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪುನರಾವರ್ತಿಸಿ.

ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಯಂತ್ರಗಳ ಅವಿಭಾಜ್ಯ ಅಂಗವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ನೋಟ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಯಮಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ನಿಮ್ಮ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್ ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಿದ್ದರೆ, ಅದರ ನೋಟವನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ಮತ್ತು ಅದರ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮರು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸಲು ಈ ಹಂತಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಿ. ಈ ಸರಳ ಹಂತಗಳೊಂದಿಗೆ, ನೀವು ನಿಮ್ಮ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಅದರ ಮೂಲ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಮರುಸ್ಥಾಪಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.