ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರ ವೇದಿಕೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಪರಿಶೀಲಿಸುವುದು? ನಿಖರತೆ ಪ್ರಮಾಣಿತವಾಗಿದೆಯೇ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ?

ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ನಿಖರ ಅಳತೆ ಉಪಕರಣಗಳಂತಹ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರ ವೇದಿಕೆಗಳ ನಿಖರತೆಯು ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ವೇದಿಕೆಯ ನಿಖರತೆಯು ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಎರಡು ಅಂಶಗಳಿಂದ ಪ್ರಯತ್ನಗಳನ್ನು ಮಾಡಬೇಕು: ಪ್ರಮುಖ ಸೂಚಕಗಳ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಮಾನದಂಡಗಳ ಅನುಸರಣೆ.

ಕೋರ್ ಸೂಚಕ ಪತ್ತೆ: ನಿಖರತೆಯ ಬಹು ಆಯಾಮದ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಚಪ್ಪಟೆತನ ಪತ್ತೆ: ಉಲ್ಲೇಖ ಸಮತಲದ "ಚಪ್ಪಟೆತನ" ವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವುದು
ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ವೇದಿಕೆಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಸೂಚಕವೆಂದರೆ ಚಪ್ಪಟೆತನ, ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮಟ್ಟಗಳಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ ಲೇಸರ್ ಕಿರಣವನ್ನು ಹೊರಸೂಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಬೆಳಕಿನ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪದ ತತ್ವವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಅಳೆಯಬಹುದು, ನಿಖರತೆಯು ಉಪ-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮಟ್ಟವು ಅನೇಕ ಬಾರಿ ಚಲಿಸುವ ಮೂಲಕ ಅಳೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಸ್ಥಳೀಯ ಮುಂಚಾಚಿರುವಿಕೆಗಳು ಅಥವಾ ಖಿನ್ನತೆಗಳು ಇದೆಯೇ ಎಂದು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಬಾಹ್ಯರೇಖೆ ನಕ್ಷೆಯನ್ನು ಸೆಳೆಯುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳು ± 0.5μm/m ನ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು, ಅಂದರೆ 1-ಮೀಟರ್ ಉದ್ದದೊಳಗಿನ ಎತ್ತರದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಅರ್ಧ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್ ಮೀರಬಾರದು. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಪತ್ತೆ ಸಾಧನಗಳ ಮೂಲಕ ಮಾತ್ರ ಈ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಮಾನದಂಡವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
2. ನೇರತೆ ಪತ್ತೆ: ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯ "ನೇರತೆ"ಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ
ನಿಖರವಾದ ಚಲಿಸುವ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ಗಳಿಗೆ, ನೇರತೆಯು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ. ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನಗಳು ವೈರ್ ವಿಧಾನ ಅಥವಾ ಲೇಸರ್ ಕೊಲಿಮೇಟರ್. ವೈರ್ ವಿಧಾನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಉಕ್ಕಿನ ತಂತಿಗಳನ್ನು ಅಮಾನತುಗೊಳಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನೇರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಉಕ್ಕಿನ ತಂತಿಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ಹೋಲಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಗೈಡ್ ರೈಲಿನ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಮೇಲ್ಮೈಯ ರೇಖೀಯ ದೋಷವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಲೇಸರ್ ಕೊಲಿಮೇಟರ್ ಲೇಸರ್‌ನ ರೇಖೀಯ ಪ್ರಸರಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ನೇರತೆಯು ಮಾನದಂಡವನ್ನು ಪೂರೈಸದಿದ್ದರೆ, ಅದು ಚಲನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳು ಬದಲಾಗುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಅಥವಾ ಅಳತೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
3. ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಪತ್ತೆ: ಸಂಪರ್ಕದ "ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ"ಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ
ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು ಘಟಕ ಅಳವಡಿಕೆಯ ಫಿಟ್‌ನ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಸ್ಟೈಲಸ್ ಒರಟುತನ ಮೀಟರ್ ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪ್ ಅನ್ನು ಪತ್ತೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಟೈಲಸ್ ಮಾದರಿಯ ಉಪಕರಣವು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರೋಬ್‌ನೊಂದಿಗೆ ವೇದಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರೊಫೈಲ್‌ನ ಎತ್ತರದ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ದಾಖಲಿಸುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕಗಳು ನೇರವಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಗಮನಿಸಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು Ra≤0.05μm ನಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಕನ್ನಡಿಯಂತಹ ಪರಿಣಾಮಕ್ಕೆ ಸಮನಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿಖರ ಘಟಕಗಳು ಬಿಗಿಯಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತರಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಂಪನ ಅಥವಾ ಸ್ಥಳಾಂತರವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. ​
ನಿಖರತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳು ಹೀಗಿವೆ: ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಗಳು ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮದ ಆಂತರಿಕ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಪ್ರಸ್ತುತ, ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ISO 25178 ಮತ್ತು GB/T 24632 ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಧಾರವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ನೇರತೆಯಂತಹ ಸೂಚಕಗಳಿಗೆ ಸ್ಪಷ್ಟ ವರ್ಗೀಕರಣಗಳಿವೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣವಾದ ಆಂತರಿಕ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ಗೆ ಚಪ್ಪಟೆತನದ ಅವಶ್ಯಕತೆಯು ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಕ್ಕಿಂತ 30% ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ. ಪರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸುವಾಗ, ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಅನುಗುಣವಾದ ಮಾನದಂಡಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಬೇಕು. ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಅನುಸರಿಸುವ ವೇದಿಕೆಗಳು ಮಾತ್ರ ನಿಖರ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರ ವೇದಿಕೆಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವುದು ಒಂದು ವ್ಯವಸ್ಥಿತ ಯೋಜನೆಯಾಗಿದೆ. ಚಪ್ಪಟೆತನ, ನೇರತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ಸೂಚಕಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಪರೀಕ್ಷಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮ ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಬದ್ಧವಾಗಿರುವ ಮೂಲಕ ಮಾತ್ರ ವೇದಿಕೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸಬಹುದು, ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರ ಉಪಕರಣಗಳಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಘನ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ಹಾಕಬಹುದು.