ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತವೆ.

Iಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ನಿಖರತೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ZHHIMG® ಒದಗಿಸಿದಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಅಂತಹ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಅವು ಹೇಗೆ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ ಎಂಬುದು ಇಲ್ಲಿದೆ.
ಅಸಾಧಾರಣ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಗ್ರಾನೈಟ್ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಸುಮಾರು (4–8)×10⁻⁶/℃, ಇದು ಅನೇಕ ಲೋಹಗಳಿಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಕಾರ್ಖಾನೆಗಳ ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳು ಸಹ ಮಾಪನ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಈ ಸ್ಥಿರತೆಯು ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಘಟಕಗಳ ಸ್ಥಾನೀಕರಣವು ನಿಖರವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ತಪಾಸಣೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಯಾವುದೇ ಉಷ್ಣ-ಪ್ರೇರಿತ ವಿಚಲನಗಳನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

ಸುಪೀರಿಯರ್ ವೈಬ್ರೇಶನ್ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಹಡಿಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಮೂಲಗಳಿಂದ ಬರುವ ಕಂಪನಗಳಿಂದ ತುಂಬಿರುತ್ತವೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಅಂತರ್ಗತ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, 0.05–0.1 ರ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಅನುಪಾತದೊಂದಿಗೆ, ಈ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಚದುರಿಸುತ್ತವೆ. ವೇಫರ್ ಇನ್ಸ್‌ಪೆಕ್ಷನ್‌ಗಾಗಿ
ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಸಂವೇದಕ ವಾಚನಗೋಷ್ಠಿಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಈ ಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳಿಂದ ಒದಗಿಸಲಾದ ಕಂಪನಗಳಲ್ಲಿನ ಕಡಿತವು ಅಮೂಲ್ಯವಾಗಿದೆ. ಇದು ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಮಸುಕುಗೊಳಿಸುವ ಅಥವಾ ಸಂವೇದಕ ಡೇಟಾವನ್ನು ವಿರೂಪಗೊಳಿಸುವ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಆಂತರಿಕ ರಚನೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಸ್ಪಷ್ಟ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಸೆರೆಹಿಡಿಯಲು ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧಸರಿಸುಮಾರು 3100 ಕೆಜಿ/ಮೀ³ ಸಾಂದ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ, ZHHIMG® ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಗಮನಾರ್ಹ ಬಿಗಿತವನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ಅವು ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಭಾರವಾದ ಘಟಕಗಳನ್ನು ವಿರೂಪಗೊಳಿಸದೆ ಬೆಂಬಲಿಸಬಹುದು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ (ಮೊಹ್ಸ್ ಸ್ಕೇಲ್ 6–7) ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಸಮತಟ್ಟಾಗಿ ಮತ್ತು ಮೃದುವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಸ್ಥಿರತೆಯು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ನಿಖರತೆಗೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಏಕೆಂದರೆ ಬೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಉಡುಗೆ ಅಥವಾ ವಿರೂಪತೆಯು ಕ್ರಮೇಣ ಉಪಕರಣದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕುಗ್ಗಿಸಬಹುದು.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವವು ಈ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ತುಕ್ಕುಗೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಗುಣವು ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡುತ್ತದೆ, ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ರಾಸಾಯನಿಕ-ಪ್ರೇರಿತ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಕೇವಲ ಒಂದು ಘಟಕವಲ್ಲ, ಬದಲಾಗಿ ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ನಿಖರವಾದ ನಿಖರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್‌ಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ZHHIMG® ನಂತಹ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆದಾರರನ್ನು ಆರಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ. ಬಹು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಬದ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ, ZHHIMG® ಪ್ರತಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರ ಬೇಸ್ ಮುಂದುವರಿದ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.