ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೇಗೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ?

​
​
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ನಿಖರವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್‌ಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಪರೀಕ್ಷೆಯು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಕೊಂಡಿಯಾಗಿದೆ. ತೋರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಲ್ಪವೆಂದು ತೋರುವ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ವಾಸ್ತವವಾಗಿ ಪತ್ತೆ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವ "ಪ್ರಶಂಸಿಸದ ನಾಯಕ". ಇದು ಪರೀಕ್ಷಾ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಹೇಗೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ? ಈ ಲೇಖನವು ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ರಚನಾತ್ಮಕ ವಿನ್ಯಾಸದಂತಹ ಆಯಾಮಗಳಿಂದ ಆಳವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ.
1. ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಡಿಪಾಯ: ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು ನಿಖರತೆಗೆ ಘನ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ಹಾಕುತ್ತವೆ.
1. ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಭೂಕಂಪನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
ವೇಫರ್ ನಾನ್-ಡಿಸ್ಟ್ರಕ್ಟಿವ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಮೋಟಾರ್‌ನ ತಿರುಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಘಟಕಗಳ ಚಲನೆ ಎಲ್ಲವೂ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಗ್ರಹಿಸದಿದ್ದರೆ, ಅವು ಪರೀಕ್ಷಾ ನಿಖರತೆಗೆ ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತವೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಒಳಭಾಗವು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಮತ್ತು ಫೆಲ್ಡ್‌ಸ್ಪಾರ್‌ನಂತಹ ಖನಿಜ ಸ್ಫಟಿಕಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಹೆಣೆದುಕೊಂಡಿದೆ. ಇದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ರಚನೆಯು ನೈಸರ್ಗಿಕ ಕಂಪನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಉಪಕರಣಗಳ ಕಂಪನ ಶಕ್ತಿಯ 90% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರ ನಿಜವಾದ ಮಾಪನ ದತ್ತಾಂಶವು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಿದ ನಂತರ, ಪತ್ತೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಂಪನ ವೈಶಾಲ್ಯವನ್ನು 12μm ನಿಂದ 2μm ಗೆ ಇಳಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಕಂಪನದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪತ್ತೆ ಸಂಕೇತದ ವಿಚಲನವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. ​
2. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಗುಣಾಂಕ
ಪತ್ತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಉಪಕರಣಗಳ ತಾಪನ ಮತ್ತು ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಂತಹ ಅಂಶಗಳು ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ. ಬಿಸಿ ಮಾಡಿದಾಗ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಸ್ತುಗಳು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕವು ಉಕ್ಕಿನ 1/5 ರಷ್ಟು ಮಾತ್ರ. ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು 10 ℃ ರಷ್ಟು ಏರಿಳಿತಗೊಂಡರೂ ಸಹ, ಅದರ ವಿರೂಪವನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಬಹುದು. ಇದು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಉಲ್ಲೇಖ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ತಪಾಸಣೆ ಪ್ರೋಬ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ನಡುವಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಸ್ಥಾನವು ಎಲ್ಲಾ ಸಮಯದಲ್ಲೂ ನಿಖರವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ತಪಾಸಣೆ ದೋಷಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. ​
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ನಿಖರವಾದ ವಿನ್ಯಾಸ: ರಚನಾತ್ಮಕ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಖಾತರಿ
ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ಐದು-ಅಕ್ಷದ ಲಿಂಕೇಜ್ CNC ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಿಂದ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ±0.5μm/m ನ ಚಪ್ಪಟೆತನದೊಂದಿಗೆ, ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಫ್ಲಾಟ್ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಉಲ್ಲೇಖವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆಯಲ್ಲಿ, ತಪಾಸಣೆ ಪ್ರೋಬ್‌ನ ಲಂಬತೆ ಮತ್ತು ಮಟ್ಟವು ತಪಾಸಣೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ತನಿಖೆಯ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ತಪಾಸಣೆ ಡೇಟಾವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ರಚನಾತ್ಮಕ ರೂಪಾಂತರ
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ಗಳನ್ನು ವಿಭಿನ್ನ ವೇಫರ್ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಪರೀಕ್ಷಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಬೆಳಕಿನ ಪ್ರತಿಫಲನಕ್ಕಾಗಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು, ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಬಹುದು; ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು, ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ನಿಖರವಾದ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ರಂಧ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಕೇಬಲ್ ಟ್ರೇಗಳೊಂದಿಗೆ ಮೊದಲೇ ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ಇದು ಉಪಕರಣಗಳ ತ್ವರಿತ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ದೋಷಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪತ್ತೆ ವಿಚಲನಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
III. ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರತೆ: ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ನಿಖರತೆಯ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.
ಗ್ರಾನೈಟ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, 6 ರಿಂದ 7 ರ ಮೊಹ್ಸ್ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯ ಉಕ್ಕಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧಕ್ಕಿಂತ ಮೂರು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು. ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ತಪಾಸಣೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಸವೆತಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಯಾವಾಗಲೂ ಉತ್ತಮ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಇತರ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಿದ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಸವೆತ ಮತ್ತು ಹರಿದುಹೋಗುವಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ ಉಪಕರಣದ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಉಲ್ಲೇಖದಲ್ಲಿ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪತ್ತೆ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಉಪಕರಣ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಆವರ್ತನವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸಬಹುದಾದ ನಿಖರತೆಯ ನಷ್ಟದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ, ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆಯಿಂದ ಹಿಡಿದು ನಿಖರವಾದ ವಿನ್ಯಾಸದವರೆಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ವೇಫರ್‌ಗಳ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡುತ್ತಿದೆ. ಅಂತಿಮ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅನುಸರಿಸುವ ಇಂದಿನ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಯುಗದಲ್ಲಿ, ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು ಪರೀಕ್ಷಾ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗೆ ವಿಮೆಯ ಘನ ಪದರವನ್ನು ಸೇರಿಸಿದಂತೆ.