ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್: ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ "ಗೋಲ್ಡನ್ ಪಾರ್ಟ್ನರ್ಸ್" ಏಕೆ?

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ಚಿಪ್‌ಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್, ಅದರ ಬಹು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಅನಿವಾರ್ಯ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ: ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ವಿರುದ್ಧ "ಗುರಾಣಿ"
ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತಿರುವಾಗ, ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಕೇವಲ 0.1℃ ತಾಪಮಾನದ ಏರಿಳಿತವು ಉಪಕರಣಗಳ ಘಟಕಗಳ ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕವು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಕೇವಲ 4-8 × 10⁻⁶/℃, ಇದು ಉಕ್ಕಿನ ಸರಿಸುಮಾರು 1/3 ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹದ 1/5 ಆಗಿದೆ. ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಿದಾಗ ಅಥವಾ ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನವು ಬದಲಾದಾಗ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಇದು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ರಚನೆಗಳ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಸೂಪರ್ ಕಂಪನ-ವಿರೋಧಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: ಕಂಪನವನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ "ಸ್ಪಂಜ್"
ಅರೆವಾಹಕ ಕಾರ್ಖಾನೆಯಲ್ಲಿ, ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ಜನರ ಚಲನೆ ಎಲ್ಲವೂ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಗಟ್ಟಿಯಾದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಇದು ಲೋಹಗಳಿಗಿಂತ 2 ರಿಂದ 5 ಪಟ್ಟು ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಅನುಪಾತದೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಬಾಹ್ಯ ಕಂಪನಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಹರಡಿದಾಗ, ಆಂತರಿಕ ಖನಿಜ ಹರಳುಗಳ ನಡುವಿನ ಘರ್ಷಣೆಯು ಕಂಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪ್ರಸರಣಕ್ಕಾಗಿ ಶಾಖ ಶಕ್ತಿಯನ್ನಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಕಡಿಮೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕಂಪನವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪುನಃಸ್ಥಾಪಿಸಲು ಮತ್ತು ಕಂಪನದಿಂದಾಗಿ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮಾದರಿಯ ಮಸುಕು ಅಥವಾ ತಪ್ಪು ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಸ್ವಚ್ಛ ಪರಿಸರದ "ರಕ್ಷಕ"
ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಒಳಭಾಗವು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾಧ್ಯಮಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಕ್ಕೆ ಬರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳು ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವ ಅಥವಾ ಕಣಗಳ ಬಿಡುಗಡೆಗೆ ಗುರಿಯಾಗುತ್ತವೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಮತ್ತು ಫೆಲ್ಡ್‌ಸ್ಪಾರ್‌ನಂತಹ ಖನಿಜಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ. ಇದು ಸ್ಥಿರವಾದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ದ್ರಾವಣಗಳಲ್ಲಿ ನೆನೆಸಿದ ನಂತರ, ಮೇಲ್ಮೈ ತುಕ್ಕು ಅತ್ಯಂತ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ. ಏತನ್ಮಧ್ಯೆ, ಅದರ ದಟ್ಟವಾದ ರಚನೆಯು ಬಹುತೇಕ ಯಾವುದೇ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳು ಅಥವಾ ಧೂಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಇದು ಅತ್ಯುನ್ನತ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಮಾನದಂಡಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: ನಿಖರವಾದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲು "ಆದರ್ಶ ವಸ್ತು".
ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಉಲ್ಲೇಖ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಆಂತರಿಕ ರಚನೆಯು ಏಕರೂಪವಾಗಿದ್ದು, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಇತರ ತಂತ್ರಗಳ ಮೂಲಕ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಗೆ ಸಂಸ್ಕರಿಸುವುದು ಸುಲಭ. ಇದರ ಚಪ್ಪಟೆತನವು ≤0.5μm/m ತಲುಪಬಹುದು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra ≤0.05μm ಆಗಿದ್ದು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್‌ಗಳಂತಹ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಆಧಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ-ಮುಕ್ತ: ವೆಚ್ಚ ಕಡಿತಕ್ಕೆ "ಚೂಪಾದ ಉಪಕರಣಗಳು"
ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಬಳಕೆಯಿಂದ ಆಯಾಸ ಮತ್ತು ಬಿರುಕು ಬಿಡುವ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಸಾಮಾನ್ಯ ಹೊರೆಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ವಿರೂಪ ಅಥವಾ ಮುರಿತಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಇದಕ್ಕೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಹೀಗಾಗಿ ಲೇಪನ ಸಿಪ್ಪೆಸುಲಿಯುವ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ.ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ಹಲವು ವರ್ಷಗಳ ಕಾಲ ಬಳಸಿದ ನಂತರ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸೂಚಕಗಳು ಇನ್ನೂ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಬಹುದು, ಇದು ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ, ಕಂಪನ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವದವರೆಗೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಬಹು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ. ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಡೆಗೆ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಹೊಂದುತ್ತಿರುವಂತೆ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳು ಭರಿಸಲಾಗದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತಲೇ ಇರುತ್ತವೆ.