ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಕ್ರೀಡಾ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್‌ಗಾಗಿ ಪರಿಸರ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ.

ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಕ್ಕೆ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್, ಬೆಂಬಲ ಕೋರ್ ಆಗಿ, ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ತವಾದ ಪರಿಸರ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು ಅದರ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆಧಾರವಾಗಿದೆ.

ಮೊದಲು, ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ: ನಿಖರ "ಸ್ಟೆಬಿಲೈಜರ್"
ಗ್ರಾನೈಟ್ ತನ್ನ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದ್ದರೂ, ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರೋಧಕವಾಗಿಲ್ಲ. ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೂ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 5-7 ×10⁻⁶/℃, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳಲ್ಲಿ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳು ಇನ್ನೂ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಡ್ಯಾನಮಿ-ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು 1 ° C ರಷ್ಟು ಏರಿಳಿತಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು 1 ಮೀಟರ್‌ನ ಬದಿಯ ಉದ್ದವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ 5-7 ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳ ರೇಖೀಯ ವಿಸ್ತರಣೆ ಅಥವಾ ಸಂಕೋಚನವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಈ ಸಣ್ಣ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಮೂಲಕ ಹರಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಚಿಪ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮಾದರಿಯ ವಿಚಲನವನ್ನು ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಾಕು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರವಾದ ಬೇಸ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿರುವ ಆದರ್ಶ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 20 ° C ± 1 ° C ನಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು, ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶದ ಹವಾನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ನಿರಂತರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಹಾಯದಿಂದ, ತಾಪಮಾನದ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ಬಹಳ ಕಡಿಮೆ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಬೇಸ್ ಗಾತ್ರದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು.
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಆರ್ದ್ರತೆ ನಿರ್ವಹಣೆ: ತೇವಾಂಶ-ನಿರೋಧಕ ರಕ್ಷಣೆ "ಕಲ್ಲು" ಯ ಕೀಲಿಕೈ.
ತೇವಾಂಶವು ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಮತ್ತೊಂದು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ನೀರಿನ ಆವಿಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ, ಇದು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನೀಕರಣಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದು ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಸಂಪರ್ಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದಲ್ಲದೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ಸವೆತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯಲ್ಲಿ ಹೊಳಪು ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ, ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 60% RH ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲ್ಪಟ್ಟ ನೀರಿನ ಆವಿಯು ಗ್ಯಾಸ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಸ್ಲೈಡರ್‌ನ ಚಲನೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಲೆನ್ಸ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಿಖರತೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಪೂರಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕೆಲಸದ ಪರಿಸರದ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು 40%-60% RH ನಡುವೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಡಿಹ್ಯೂಮಿಡಿಫೈಯರ್‌ಗಳು, ಆರ್ದ್ರತೆ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಸುಗಮ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
ಮೂರನೆಯದಾಗಿ, ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಖಾತರಿ: ನಿಖರತೆಯ "ರಕ್ಷಕ"
ಗಾಳಿಯ ತೇಲುವಿಕೆಯ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳ ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಅಂದಾಜು ಮಾಡಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ. ಸಣ್ಣ ಕಣಗಳು ಗ್ಯಾಸ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಸ್ಲೈಡರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ನಡುವಿನ ಅನಿಲ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಂತರವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ, ಅವು ಅನಿಲ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸಬಹುದು, ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಬೇಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಗೀಚಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ. ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಭಾಗಗಳ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಯಂತ್ರ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ, ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿರುವ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಮೇಲೆ ಬಿದ್ದರೆ, ಯಂತ್ರೋಪಕರಣದ ಉಪಕರಣದ ಚಲನೆಯ ಪಥವು ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದು ಭಾಗಗಳ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣದ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿಡಬೇಕು, ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಏರ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು (HEPA) ನಂತಹ ಗಾಳಿ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳ ಸ್ಥಾಪನೆಯ ಮೂಲಕ 10,000 ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಶುಚಿತ್ವ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ತಲುಪಬೇಕು, ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿರುವ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಬೇಕು, ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಮಾನವರು ತರುವ ಧೂಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಬಟ್ಟೆ, ಶೂ ಕವರ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಧರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸರವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಿ.

ನಾಲ್ಕು, ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ: "ಶಾಕ್ ಪ್ಯಾಡ್" ನ ಸುಗಮ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ.
ಬಾಹ್ಯ ಕಂಪನವು ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ನಿಖರತೆಯ ಶತ್ರುವಾಗಿದೆ. ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕಂಪನ ಕ್ಷೀಣಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಕಂಪನವು ಇನ್ನೂ ಅದರ ಬಫರ್ ಮಿತಿಯನ್ನು ಮುರಿಯಬಹುದು. ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಸುತ್ತಲಿನ ಸಂಚಾರ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಂಪನವು ನೆಲದ ಮೂಲಕ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗೆ ಹರಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ CMM ನಲ್ಲಿ, ಕಂಪನವು ಅಳತೆ ಪ್ರೋಬ್ ಮತ್ತು ಅಳೆಯಬೇಕಾದ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕವು ಅಸ್ಥಿರವಾಗಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮಾಪನ ಡೇಟಾದ ವಿಚಲನವಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು, ಉಪಕರಣಗಳ ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪ್ಯಾಡ್‌ಗಳನ್ನು ಹಾಕುವುದು, ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸುವುದು ಅಥವಾ ಬಾಹ್ಯ ಕಂಪನವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಸಕ್ರಿಯ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ಗೆ ಶಾಂತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುವಂತಹ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಕಂಪನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅವಶ್ಯಕ.
ತಾಪಮಾನ, ಆರ್ದ್ರತೆ, ಶುಚಿತ್ವ ಮತ್ತು ಕಂಪನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಪರಿಸರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪೂರೈಸುವ ಮೂಲಕ ಮಾತ್ರ, ಏರ್ ಫ್ಲೋಟ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಮಾಡ್ಯೂಲ್‌ನ ಗ್ರಾನೈಟ್ ನಿಖರತೆಯ ಬೇಸ್ ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ಣ ಪ್ರದರ್ಶನ ನೀಡುತ್ತದೆ, ವಿವಿಧ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಖಾತರಿಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನಾ ಹಂತದತ್ತ ಸಾಗಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.