ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನಿಖರ ಕ್ರಾಂತಿ: ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೈಕ್ರಾನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಭೇಟಿಯಾದಾಗ
೧.೧ ವಸ್ತು ವಿಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಅನಿರೀಕ್ಷಿತ ಆವಿಷ್ಕಾರಗಳು
2023 ರ SEMI ಇಂಟರ್ನ್ಯಾಷನಲ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಸೋಸಿಯೇಷನ್ ವರದಿಯ ಪ್ರಕಾರ, ವಿಶ್ವದ 63% ರಷ್ಟು ಮುಂದುವರಿದ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ವೇದಿಕೆಗಳ ಬದಲಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಬೇಸ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿವೆ. ಭೂಮಿಯ ಆಳವಾದ ಶಿಲಾಪಾಕ ಘನೀಕರಣದಿಂದ ಹುಟ್ಟುವ ಈ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಕಲ್ಲು, ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಇತಿಹಾಸವನ್ನು ಪುನಃ ಬರೆಯುತ್ತಿದೆ:
ಉಷ್ಣ ಜಡತ್ವ ಪ್ರಯೋಜನ: ಗ್ರಾನೈಟ್ 4.5×10⁻⁶/℃ ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್‌ನ 1/5 ರಷ್ಟು ಮಾತ್ರ, ಮತ್ತು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ನಿರಂತರ ಕೆಲಸದಲ್ಲಿ ±0.001mm ನ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕಂಪನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು: ಆಂತರಿಕ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕವು ಎರಕಹೊಯ್ದ ಕಬ್ಬಿಣಕ್ಕಿಂತ 15 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಉಪಕರಣಗಳ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಂಪನವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಶೂನ್ಯ ಕಾಂತೀಕರಣ ಸ್ವಭಾವ: ಲೇಸರ್ ಮಾಪನದಲ್ಲಿನ ಕಾಂತೀಯ ದೋಷವನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿವಾರಿಸಿ.
೧.೨ ನನ್ನಿಂದ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗೆ ರೂಪಾಂತರದ ಪ್ರಯಾಣ
ಶಾಂಡೊಂಗ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ZHHIMG ನ ಬುದ್ಧಿವಂತ ಉತ್ಪಾದನಾ ನೆಲೆಯನ್ನು ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಕೊಂಡರೆ, ಕಚ್ಚಾ ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಒಂದು ತುಂಡು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳಿಗೆ ಒಳಗಾಗಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ:
ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಯಂತ್ರ: 200 ಗಂಟೆಗಳ ನಿರಂತರ ಮಿಲ್ಲಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಐದು-ಅಕ್ಷದ ಸಂಪರ್ಕ ಯಂತ್ರ ಕೇಂದ್ರ, ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra0.008μm ವರೆಗೆ
ಕೃತಕ ವಯಸ್ಸಾದ ಚಿಕಿತ್ಸೆ: ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ 48 ಗಂಟೆಗಳ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಒತ್ತಡ ಬಿಡುಗಡೆ, ಇದು ಉತ್ಪನ್ನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು 40% ರಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ "ರಾಕ್ ದ್ರಾವಣ"ದ ಆರು ನಿಖರ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಭೇದಿಸಿ.
2.1 ವೇಫರ್ ವಿಘಟನೆ ದರ ಕಡಿತ ಯೋಜನೆ
ಪ್ರಕರಣ ಪ್ರದರ್ಶನ: ಜರ್ಮನಿಯ ಚಿಪ್ ಫೌಂಡ್ರಿಯೊಂದು ನಮ್ಮ ಅನಿಲ ತೇಲುವ ಗ್ರಾನೈಟ್ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡ ನಂತರ:
| ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ | ಚಿಪ್ ದರ ಕಡಿತ | ಚಪ್ಪಟೆತನ ಸುಧಾರಣೆ |
| 12 ಇಂಚುಗಳು | 67% | ≤0.001ಮಿಮೀ |
| 18 ಇಂಚುಗಳು | 82% | ≤0.0005ಮಿಮೀ |
2.2 ಲಿಥೋಗ್ರಾಫಿಕ್ ಜೋಡಣೆ ನಿಖರತೆಯ ಪ್ರಗತಿ ಯೋಜನೆ
ತಾಪಮಾನ ಪರಿಹಾರ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಎಂಬೆಡೆಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸಂವೇದಕವು ಆಕಾರದ ವೇರಿಯೇಬಲ್ ಅನ್ನು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಇಳಿಜಾರನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಹೊಂದಿಸುತ್ತದೆ.
ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾ: 28℃±5℃ ಏರಿಳಿತದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಎಂಬೆಡಿಂಗ್ ನಿಖರತೆಯು 0.12μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಏರಿಳಿತಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮಾರ್ಚ್-24-2025