ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳ 8 ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು

"ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್" ಪ್ರಮಾಣಿತ ಅಳತೆ ಘಟಕವಾಗಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಉಪಕರಣಗಳ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯು ಮಾತುಕತೆಗೆ ಒಳಪಡುವುದಿಲ್ಲ. ಚಿಪ್ ನೋಡ್‌ಗಳು 5nm ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಕ್ಕೆ ಕುಗ್ಗುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಕಂಪನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಬೇಡಿಕೆಯು ತೀವ್ರ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಯಂತ್ರಾಂಶದ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಆಯ್ಕೆಯಿಂದ ಅಗತ್ಯ "DNA" ಗೆ ಪರಿವರ್ತನೆಗೊಂಡಿವೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಸಲಕರಣೆ ರಚನೆಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿ, ZHHIMG® ಎಂಟು ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ನ ಮೂಕ ನಾಯಕ.

1. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ನೆಲೆಗಳು

ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ಅರೆವಾಹಕ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ ಉಪಕರಣವಾಗಿದೆ. ಬೇಸ್ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಉಳಿಯುವಾಗ ಬೃಹತ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಬೇಕು. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಆಂತರಿಕ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಪರಿಸರದಿಂದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಂಪನಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲವು ಪರಮಾಣು ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿರುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

2. ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಚಲನೆಯ ಹಂತಗಳು

ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆಗೆ ಘರ್ಷಣೆ-ಮುಕ್ತ ಚಲನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅನ್ನು ಮೈಕ್ರಾನ್ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಚಪ್ಪಟೆಯಾಗಿ ಲ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ್ದರಿಂದ, ಇದು ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊರುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ಪರಿಪೂರ್ಣ ಪಾಲುದಾರನಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. "ಗಾಳಿಯ ಕುಶನ್" ಶೂನ್ಯ ಉಡುಗೆಯೊಂದಿಗೆ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಮೇಲೆ ಜಾರುತ್ತದೆ, ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಯವಾದ ಚಲನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

3. ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ವೇದಿಕೆಗಳು

ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ದೋಷಗಳಿಗಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಬೇಕು. ಯಂತ್ರದ ಚೌಕಟ್ಟಿನಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯು "ಸುಳ್ಳು ಧನಾತ್ಮಕ" ಅಥವಾ ತಪ್ಪಿದ ದೋಷಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳುಉಷ್ಣವಾಗಿ ಜಡ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಿ, ತಪಾಸಣೆ ದತ್ತಾಂಶವು ಯಂತ್ರದ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯಲ್ಲ, ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯ ನಿಜವಾದ ಪ್ರತಿಬಿಂಬವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

4. ಗ್ಯಾಂಟ್ರಿ ಮೋಷನ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ (ಸೇತುವೆ ರಚನೆಗಳು)

ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಡೈಸಿಂಗ್ ಅಥವಾ ತಂತಿ ಬಂಧದಲ್ಲಿ, "ಸೇತುವೆ" ಅಥವಾ ಗ್ಯಾಂಟ್ರಿ ಅಲುಗಾಡದೆ ವೇಗವಾಗಿ ಚಲಿಸಬೇಕು. ಗ್ರಾನೈಟ್ ಗ್ಯಾಂಟ್ರಿ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಕಬ್ಬಿಣಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಉತ್ತಮ ಠೀವಿ-ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಅನುಪಾತವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು "ಇತ್ಯರ್ಥಗೊಳಿಸುವ ಸಮಯವನ್ನು" ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ - ಯಂತ್ರವು ತನ್ನ ಮುಂದಿನ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಮೊದಲು ಕಂಪನಗಳು ನಿಲ್ಲುವವರೆಗೆ ಕಾಯಬೇಕಾದ ಸಮಯ.

5. ಲೇಸರ್ ದುರಸ್ತಿ ಸಲಕರಣೆ ಚೌಕಟ್ಟುಗಳು

ಮಾಸ್ಕ್ ಅಥವಾ ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ದೋಷ ಕಂಡುಬಂದಾಗ, ನಿಖರವಾದ ದುರಸ್ತಿಗಾಗಿ ಲೇಸರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಕಾಂತೀಯವಲ್ಲದ ಮತ್ತು ವಾಹಕವಲ್ಲದ ರಚನಾತ್ಮಕ ಅಡಿಪಾಯದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್ ನೈಸರ್ಗಿಕವಾಗಿ ನಿರೋಧಕವಾಗಿದ್ದು, ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಲೇಸರ್ ಮಾರ್ಗದ ಮೇಲೆ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪದ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

6. ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ CMM (ನಿರ್ದೇಶಾಂಕ ಅಳತೆ ಯಂತ್ರಗಳು)

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸೌಲಭ್ಯದೊಳಗೆ ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್‌ಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ CMM ಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಕಣಗಳನ್ನು ಹೊರಹಾಕುವ ಅಥವಾ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಿಸುವ ಲೋಹಕ್ಕಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಗ್ರಾನೈಟ್ ಆಮ್ಲ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕವಾಗಿದ್ದು, ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸದೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಉಪಕರಣ ರಚನೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

7. ಕೆಮಿಕಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ (CMP) ಬೇಸ್‌ಗಳು

CMP ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಲೋಹಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿಯಾದ ಸ್ಲರಿ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ನೈಸರ್ಗಿಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಘಟಕಗಳ ರಚನಾತ್ಮಕ ಅಡಿಪಾಯಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ, ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

8. ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್

ಅಯಾನು ಇಂಪ್ಲಾಂಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಪರಿಸರಗಳು ಅಯಾನು ಕಿರಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಮಾಡದ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುತ್ ಆರ್ಸಿಂಗ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸದ ಘಟಕಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಗ್ರಾನೈಟ್‌ನ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಲು ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯಕ್ಕೆ ZHHIMG® ಏಕೆ ಬೇಕು?

ZHHIMG® ನಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣದ ಬೇಸ್ ಕೇವಲ ಒಂದು ಕಲ್ಲಿನ ತುಂಡುಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಾಗಿದೆ ಎಂದು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ - ಇದು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಿಸಿದ ಉಪಕರಣವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮ ವಿಶೇಷ ಕಪ್ಪು ಗ್ರಾನೈಟ್, ನಮ್ಮ 30+ ವರ್ಷಗಳ ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪರಿಣತಿಯೊಂದಿಗೆ ಸೇರಿ, ಸಬ್-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಯುಗದ ಕಠಿಣ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಸಮಾನಾಂತರ ಶ್ರೇಣಿಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ನಮಗೆ ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.

• ವಸ್ತು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ, ಅತಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಧಾನ್ಯದ ZHHIMG® ಕಪ್ಪು ಗ್ರಾನೈಟ್.

• ನಿಖರತೆ: DIN 876 ಗ್ರೇಡ್ 00 ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮ್ JIS/ASME ವಿಶೇಷಣಗಳ ಪ್ರಕಾರ ನಿಖರತೆಯ ಶ್ರೇಣಿಗಳು.

• ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ: ನಮ್ಮ 10,000m² ಸ್ಥಿರ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಾಗಾರಗಳಲ್ಲಿ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಇನ್ಸರ್ಟ್‌ಗಳು, ಟಿ-ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಟ್ರ್ಯಾಕ್‌ಗಳನ್ನು ಮೊದಲೇ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ.