ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮವು 2nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನೋಡ್ಗಳನ್ನು ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿಯಾಗಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತಿರುವುದರಿಂದ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ದೋಷದ ಅಂಚು ವಾಸ್ತವಿಕವಾಗಿ ಕಣ್ಮರೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಹಕ್ಕಿನ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ದ್ವಿತೀಯಕ ಕಾಳಜಿಯಲ್ಲ; ಇದು ಇಳುವರಿಗೆ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಅಡಚಣೆಯಾಗಿದೆ. ZHHIMG ನಲ್ಲಿ, ಜಾಗತಿಕ OEM ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಬಂಡವಾಳ ಉಪಕರಣಗಳ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಸಮೀಪಿಸುತ್ತವೆ ಎಂಬುದರಲ್ಲಿ ನಾವು ಮೂಲಭೂತ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಗಮನಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.
ಮೌನದ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ: ಸುಧಾರಿತ ಕಂಪನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ತಂತ್ರಗಳು
ಆಧುನಿಕ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಒಂದು ಕಾಲದಲ್ಲಿ "ಹಿನ್ನೆಲೆ ಶಬ್ದ" ಎಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತಿದ್ದ ಕಂಪನಗಳು ಈಗ ದುರಂತವಾಗಿವೆ. ಸೌಲಭ್ಯದ HVAC ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಆಂದೋಲನಗಳಾಗಿರಲಿ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಹಂತದ ಆಂತರಿಕ ಜಡತ್ವವಾಗಿರಲಿ, ಅನಿಯಂತ್ರಿತ ಶಕ್ತಿಯು ನೇರವಾಗಿ ಓವರ್ಲೇ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಮಸುಕಾದ ಮಾದರಿಗಳಾಗಿ ಪರಿವರ್ತನೆಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಸ್ತುತ ಕಂಪನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ತಂತ್ರಗಳು ಬಹು-ಪದರದ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪವಾಗಿ ವಿಕಸನಗೊಂಡಿವೆ. ಖನಿಜ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಅಥವಾ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರಾನೈಟ್ನಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಅಡಿಪಾಯವಾಗಿ ಉಳಿದಿದ್ದರೂ, ಸಕ್ರಿಯ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಏಕೀಕರಣದಲ್ಲಿ ನಾವು ಉಲ್ಬಣವನ್ನು ನೋಡುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.
ಸಕ್ರಿಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಆಕ್ಯೂವೇಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ನೈಜ-ಸಮಯದ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಪ್ರತಿ-ಆವರ್ತನಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಮೂಲಕ ಕಂಪನಗಳನ್ನು "ರದ್ದುಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ". ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸಕ್ರಿಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವು ಮೂಲ ವಸ್ತುವಿನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ಅನುಪಾತದಿಂದ ಅಂತರ್ಗತವಾಗಿ ಸೀಮಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಇಲ್ಲಿಯೇ ಹೆಚ್ಚಿನ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ ರಚನಾತ್ಮಕ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ZHHIMG ನ ಪರಿಣತಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗುತ್ತದೆ. ನೈಸರ್ಗಿಕವಾಗಿ ಜಡ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಅಥವಾ ಸಂಯೋಜಿತ ಬೇಸ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಕ್ರಿಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ನಾವು "ಶಾಂತ ವಲಯ"ವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತೇವೆ, ಅಲ್ಲಿ ನ್ಯಾನೊ-ಸ್ಥಾನೀಕರಣವು ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವಿಲ್ಲದೆ ಸಂಭವಿಸಬಹುದು.
ಘರ್ಷಣೆಯಿಲ್ಲದ ಚಲನೆಯ ಉದಯ: ವಾಯು ಬೇರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್ನ ಬೇಡಿಕೆಯು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಬೇರಿಂಗ್ಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಮಿತಿಗಳಿಗೆ ತಳ್ಳಿದೆ. ಘರ್ಷಣೆಯು ಶಾಖಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶಾಖವು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ - ನಿಖರತೆಯ ಶತ್ರು. ಇದು ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಅಳವಡಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಿದೆನಿಖರ ಹಂತಗಳಿಗಾಗಿ ಗಾಳಿ ಬೇರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ.
ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ಗಳು ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಗಾಳಿಯ ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಮೇಲೆ ಲೋಡ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವೇ ಮೈಕ್ರಾನ್ಗಳ ದಪ್ಪವಿರುತ್ತದೆ. ಭೌತಿಕ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ಕಾರಣ, ಶೂನ್ಯ ಸ್ಥಿರ ಘರ್ಷಣೆ (ಸ್ಟಿಕ್ಷನ್) ಇರುತ್ತದೆ. ಇದು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ:
-
ಹಿಸ್ಟರೆಸಿಸ್-ಮುಕ್ತ ಚಲನೆ: ಹಂತವು ಪ್ರತಿ ಬಾರಿಯೂ ಅದೇ ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್ ನಿರ್ದೇಶಾಂಕಕ್ಕೆ ಮರಳುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು.
-
ವೇಗ ಸ್ಥಿರತೆ: ಇ-ಬೀಮ್ ತಪಾಸಣೆಯಂತಹ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಬೇರಿಂಗ್ನ ಸಣ್ಣದೊಂದು "ಕೋಗಿಂಗ್" ಸಹ ಚಿತ್ರವನ್ನು ವಿರೂಪಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
-
ಅತ್ಯಂತ ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯ: ಸ್ಪರ್ಶಿಸುವ ಭಾಗಗಳಿಲ್ಲದ ಕಾರಣ, ಯಾವುದೇ ಸವೆತ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಇಲ್ಲ, ಇದು ವರ್ಗ 1 ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ZHHIMG ನಲ್ಲಿ, ನಾವು ಈ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ಗಳಿಗೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಫ್ಲಾಟ್ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುತ್ತೇವೆ. ಸರಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು, ಈ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಬೆಳಕಿನ ತರಂಗಾಂತರದ ಭಿನ್ನರಾಶಿಗಳಲ್ಲಿ ಅಳೆಯುವ ಚಪ್ಪಟೆತನಕ್ಕೆ ಲ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಬೇಕು.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಪಿಟಲ್ ಸಲಕರಣೆಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳು: 2026 ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕೂ ಮೀರಿ
ನಾವು 2026 ರ ಹೊತ್ತಿಗೆ ಸಾಗುತ್ತಿರುವಾಗ,ಅರೆವಾಹಕ ಬಂಡವಾಳ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳು"ಮೂರು ಸ್ತಂಭಗಳು": ಮಾಡ್ಯುಲರೈಸೇಶನ್, ಸುಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿಯಂತ್ರಣದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.
-
ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ಪ್ಲಾಟ್ಫಾರ್ಮ್ ವಿನ್ಯಾಸ: OEMಗಳು "ಪ್ಲಗ್-ಅಂಡ್-ಪ್ಲೇ" ಬೇಸ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ಗಳನ್ನು ಹುಡುಕುತ್ತಿವೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಉಪಕರಣಕ್ಕೂ ಹೊಸ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸುವ ಬದಲು, ಅವರು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಅಥವಾ ಎಚ್ಚಣೆಗೆ ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದಾದ ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ZHHIMG ನಿಖರತೆಯ ಅಡಿಪಾಯಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಿದ್ದಾರೆ.
-
ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣೆ: EUV (ಎಕ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ನೇರಳಾತೀತ) ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲಗಳು ಅಪಾರ ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವುದರಿಂದ, ಯಂತ್ರದ ಬೇಸ್ ಬೃಹತ್ ಶಾಖ ಸಿಂಕ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. $<0.01^\circ\text{C}$ ನ ಡೆಲ್ಟಾವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ನಾವು ಸಂಕೀರ್ಣ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಚಾನಲ್ಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ನಮ್ಮ ಖನಿಜ ಮತ್ತು ಗ್ರಾನೈಟ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.
-
ನಿರ್ವಾತ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಚಲಿಸುವಾಗ, ಬಳಸಿದ ವಸ್ತುಗಳು ಶೂನ್ಯ ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು. ನಮ್ಮ ವಿಶೇಷ ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ನಿರ್ವಾತದ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ರಚನಾತ್ಮಕ ಅಡಿಪಾಯದಿಂದ ಎಂದಿಗೂ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ZHHIMG ಜೊತೆ ಕಾರ್ಯತಂತ್ರದ ಪಾಲುದಾರಿಕೆ
ZHHIMG ಕೇವಲ ಘಟಕ ತಯಾರಕರಲ್ಲ; ನಾವು ಚಲನೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯತಂತ್ರದ ಪಾಲುದಾರರಾಗಿದ್ದೇವೆ. ಚೀನಾದಲ್ಲಿರುವ ನಮ್ಮ ಸೌಲಭ್ಯವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವ್ಯಾಲಿ ಮತ್ತು ಐಂಡ್ಹೋವನ್ನಲ್ಲಿರುವ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ತಂಡಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟ ಸಮನ್ವಯದೊಂದಿಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಅತ್ಯಂತ ಕಷ್ಟಕರವಾದ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ನಮ್ಮ ಆಳವಾದ ತಿಳುವಳಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕಕಂಪನ ನಿವಾರಕ ತಂತ್ರಗಳು, ನಾವು ನಮ್ಮ ಕ್ಲೈಂಟ್ಗಳು ಮೂರ್ನ ಕಾನೂನಿನ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ತಳ್ಳಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತೇವೆ. ನೀವು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ALD (ಪರಮಾಣು ಪದರ ಠೇವಣಿ) ಉಪಕರಣವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಿರಲಿ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ಪ್ರೋಬರ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಿರಲಿ, ಅಡಿಪಾಯವು ZHHIMG ನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ.
ತೀರ್ಮಾನ
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ವಿಕಸನವು ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರದ ನಿಯಮಗಳ ವಿರುದ್ಧದ ಓಟವಾಗಿದೆ. ಉದ್ಯಮವು 2026 ರತ್ತ ಸಾಗುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಗಾಳಿ ಬೇರಿಂಗ್ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಡ್ಯಾಂಪಿಂಗ್ನತ್ತ ಗಮನವು ತೀವ್ರಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳಿಗಿಂತ ಮುಂದೆ ಉಳಿಯಲು ಪರಿಣತಿ ಮತ್ತು ನಾವೀನ್ಯತೆಯ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾದ ಅಡಿಪಾಯದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ - ಅಕ್ಷರಶಃ ಮತ್ತು ಸಾಂಕೇತಿಕವಾಗಿ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜನವರಿ-26-2026